Ef stangast á milli stuðningsstefnu fyrir samþættan hringrásariðnaðinn og þessara álita, skulu þessar skoðanir hafa forgang. Ef verkefnið „eitt mál, ein umræða“ þarf til að hrinda í framkvæmd viðeigandi stefnum þessa álits skal það tilgreint jafnt í undirritunarsamningi og má ekki njóta þess ítrekað.

Ágrip: Hálfleiðaraiðnaðurinn er kjarni stuðningsiðnaðarins til að byggja upp stefnumótandi vísinda- og tæknistyrk Kína og hálfleiðarahlutarnir eru lykilsvæðið til að ákvarða hágæða þróun hálfleiðaraiðnaðar Kína. Þrátt fyrir að hálfleiðaraiðnaðurinn í Kína sé á því stigi að hraða þróun, stendur innlendur hálfleiðarahlutaiðnaðurinn enn frammi fyrir mörgum vandamálum, svo sem lágt staðsetningarhlutfall, ófullnægjandi langtímastuðningur og fjárfestingar, veik sjálfstæð nýsköpunargeta fyrirtækja, léleg samvinna andstreymis og niðurstreymis. iðnaðurinn, skortur á hæfileikaþjálfun og hvatakerfi. Þessi grein mun draga ítarlega saman þróunareiginleika og lykilfyrirtæki alþjóðlegs hálfleiðarahlutaiðnaðar, rannsaka markaðsstærð og þróunarmynstur heima og erlendis og setja fram viðeigandi þróunartillögur um helstu vandamál sem innlendur hálfleiðarahlutaiðnaður stendur frammi fyrir um þessar mundir.

01 kynning

Hálfleiðarahlutir vísa til þeirra hluta sem uppfylla kröfur hálfleiðarabúnaðar og tækni hvað varðar efni, uppbyggingu, ferli, gæði og nákvæmni, áreiðanleika og stöðugleika. Svo sem O-hringjaþéttihringir, EFEM (flutningseining), RF Gen RF aflgjafar, ESC rafstöðusoggbollar, Si kísillhringir og aðrir byggingarhlutar, lofttæmisdælur, MFC gasflæðismælir, nákvæmnislegur, sturtuhausar. Hálfleiðarabúnaður samanstendur af þúsundum hluta, afköst, gæði og nákvæmni hlutanna ákvarða beint áreiðanleika og stöðugleika búnaðarins, og eru einnig lykilþættir í framleiðslugetu kínverskra hálfleiðara til að ná hámarksframleiðslu. Innlend hálfleiðarahlutaiðnaður byrjaði seint, heildarstig hálfleiðarahlutaiðnaðarins í Kína er lágt, framboðsgeta háþróaðra vara er ófullnægjandi og vandamálið með lélega áreiðanleika, stöðugleika og samræmi vara er sífellt áberandi. Í sífellt flóknari hnattrænum stjórnmálum og efnahagsmálum er „hindrun“ aðferða í kjölfar aukinnar hátækniiðnaðar í Kína orðin áberandi. Þetta takmarkast ekki aðeins við þróun hágæða hálfleiðaraiðnaðar í Kína, heldur einnig við stafræna hagkerfið í Kína, heldur einnig við lífsviðurværi fólksins, efnahagslegt öryggi og áhætta sem ekki má vanmeta.

02 Helstu flokkun og helstu einkenni hálfleiðarahluta

(1) Aðalflokkun hálfleiðarahluta

Hálfleiðarahlutar eru lykilþættir hálfleiðarabúnaðar. Samkvæmt ófullnægjandi tölfræði hefur flokkun hálfleiðarahluta í greininni ekki enn myndast staðall og það eru aðallega eftirfarandi flokkunaraðferðir.

Samkvæmt innra ferli dæmigerðs IC búnaðarhola má skipta hlutum í fimm flokka: aflgjafa og útvarpsbylgjur, gasflutninga, lofttæmistýringu, hitastýringu, flutningstæki. Aflgjafinn og rf stjórnunarflokkurinn inniheldur RF rafall og matcher, DC/AC aflgjafa osfrv. Gasflutningar innihalda aðallega flæðistýringar, pneumatic íhluti, gassíur og svo framvegis. Tómarúmstýringarflokkur inniheldur þurrdælu/kalddælu/sameindadælu og aðrar lofttæmdælur, stjórnventill/pendúlloki og aðrir lokar, þrýstimælir og O-hringur innsigli. Hitastýring felur í sér hitaplötur/statískir bollar, varmaskipti og lyftihluti. Sendingartæki innihalda vélrænan arm, EFEM, lega, nákvæmnibraut, skrefmótor osfrv.

Samkvæmt helstu efnum og hlutverkum hálfleiðarahluta er hægt að skipta þeim í tólf flokka, þar á meðal kísil-/kísilkarbíðhluta, kvarshluta, keramikhluta, málmhluta, grafíthluta, plasthluta, lofttæmishluta, innsigli, síunarhluta, hreyfanlega hlutar, rafeindastýringarhlutir og aðrir hlutar. Meðal þeirra innihalda ýmsir flokkar hlutar einnig fjölda undirskiptra vara, svo sem tómarúmshluta, þar á meðal tómarúmsmæli (mælingarferli lofttæmi), tómarúmþrýstingsmælir, gasflæðismælir (MFC), lofttæmisventill, tómarúmdæla og aðrir lykilhlutir.

Samkvæmt þjónustuhlutum hálfleiðarahluta er hægt að skipta hálfleiðarakjarnahlutum í tvær gerðir, nefnilega nákvæmni vélarhluta og almenna keypta hluta [1]. Nákvæmni vélahlutir eru venjulega hannaðir af verkfræðingum hvers hálfleiðarabúnaðarfyrirtækis, og síðan útvistuð vinnsla, verður aðeins notuð fyrir búnað þeirra eigin fyrirtækis, svo sem vinnsluhólf, flutningshólf osfrv., tiltölulega auðvelt að tæma, yfirleitt á yfirborði þess. meðferð, nákvæmni vinnsla og aðrar tæknikröfur eru miklar; Almenn keyptir hlutar eru almennir hlutar sem hafa verið sannreyndir í langan tíma og viðurkenndir af mörgum verksmiðjum og framleiðendum búnaðar. Þeir eru staðlaðari og verða notaðir af mismunandi tækjafyrirtækjum og einnig notaðir sem varahlutir og rekstrarvörur í framleiðslulínunni. Til dæmis er erfitt að staðsetja kísilhluta, O-hring þéttihring, lokar, mæla, dælur, andlitsplötu, gassturtuhaus o.s.frv., vegna mikillar fjölhæfni þeirra og samkvæmni og þurfa að vera vottaðir af búnaði og framleiðslulína.

Tafla 1-1 tekur saman helstu íhlutavörur og hálfleiðaratæki sem eru notuð í miklum fjölda tækja og framleiðslulína.

Tafla 1-1. Aðalíhlutir og hálfleiðarabúnaður fyrir aðalþjónustu

(Gagnaheimild: Netupplýsingasöfnun)

(2) Helstu einkenni hálfleiðarahlutaiðnaðar

Hálfleiðarahlutaiðnaður einkennist venjulega af hátæknifrekum, þverfaglegri samþættingu, lítilli og dreifðri markaðsstærð, en hann gegnir mikilvægu hlutverki í virðiskeðjunni. Almennt séð eru tækjahlutar um 70% af heildarútgjöldum tækjabúnaðar. Tökum ætingarvélina sem dæmi, tíu lykilhlutar eru 85% af heildarkostnaði búnaðarins. Það er lykilstuðningurinn við að lifa af og þróa hálfleiðaraiðnaðinn og stig hans ákvarðar beint grunnstig nýsköpunar hálfleiðaraiðnaðar Kína.

A. Tæknifrek, miklar kröfur um nákvæmni og áreiðanleika.

Í samanburði við grunnhluta annarra atvinnugreina, hafa hálfleiðarahlutar, vegna þess að þeir eru notaðir í nákvæmni hálfleiðaraframleiðslu, eiginleika mikillar nákvæmni, lítillar lotu, margar tegundir, sérstærð, flókið ferli, mjög krefjandi kröfur osfrv. Vegna sérstöðu hálfleiðarahluta taka fyrirtæki oft tillit til samsettra virknikröfur eins og styrk, álag, tæringarþol, rafeiginleika, rafsegulfræðilega eiginleika og hreinleika efnisins. Sömu hlutar, ef mögulegt er, notaðir í hefðbundnum iðnaði, en í hálfleiðaraiðnaði, lykilhlutarnir í hreinleika hráefna, samkvæmni hráefnislotu, gæðastöðugleika, eftirlitsnákvæmni, brúnafskalning, afbrot, yfirborðsgrófleika og eftirlit, sérstök yfirborðsmeðhöndlun, hreinn þvottur, ryklaus pökkun í ryksugu, afgreiðslutímaþörf er meiri, Það skapar mjög mikla tæknilega hindrun. Til dæmis, þar sem línubreidd hálfleiðaravinnslu verður minni og minni, er ljóslitafræðiferlið afar strangt við að stjórna lágmarks mengunarefnum. Það stjórnar ekki aðeins agnunum, heldur einnig málmjónaútfellingu síuafurða, sem setur fram miklar kröfur um framleiðslu og framleiðslu á hálfleiðara síuhlutum. Sem stendur þarf nákvæmni hálfleiðara síuhluta til að ná 1 nanómetra eða jafnvel undir, en nákvæmni í öðrum atvinnugreinum er nauðsynleg til að vera í míkronstigi. Á sama tíma þarf hálfleiðara sían einnig að tryggja samkvæmni, svo og efna- og hitaþol, sterka viðnám gegn losun, svo að framleiðsla hálfleiðara þarfnast endurtekinnar hágæða, stöðugra gæða og ofurhreinrar vöruhreinleika og annað. miklar kröfur.

B. Þverfagleg samþætting, miklar kröfur um samsetta tæknihæfileika.

Það eru margar tegundir af hálfleiðarahlutum, sem ná yfir breitt svið og langa iðnaðarkeðju. Rannsóknir og þróun þess, hönnun, framleiðsla og notkun felur í sér þverfaglega og þverfaglega samþættingu efna, véla, eðlisfræði, rafeindatækni og nákvæmnistækja, svo það er mikil eftirspurn eftir þverfaglegum hæfileikum. Tökum sem dæmi rafstöðueigið sem notað er til að festa oblátuna í hálfleiðaraframleiðslu. Sálkeramik eða álnítríð keramik er notað sem aðalefni, en önnur leiðandi efni þarf að bæta við á sama tíma til að heildarviðnámið standist virknikröfur, sem krefst góðs skilnings á hitaleiðni, slitþol og hörku. keramik efni. Til þess að fá grunnhráefni til að uppfylla tækniforskriftir hálfleiðaraframleiðslu; Í öðru lagi krefst innri lífræn vinnslu uppbygging keramik mikillar nákvæmni og samsetning keramiklags og málmgrunns þarf að uppfylla kröfur um einsleitni og mikinn styrk. Þess vegna krefst burðarvirkishönnun og vinnsla rafstöðueiginleika chuck færni og þekkingu í nákvæmni vinnslu. Og yfirborðsmeðferð rafstöðueiginleikans til að ná um 0.01 míkron húðun, á sama tíma við háan hitaþol, slitþol, endingartíma er meira en þrjú ár, þess vegna eru meistarar yfirborðsmeðferðartækni og umsóknarkröfur tiltölulega háar. Það má sjá að samsettir og krossgerðir tæknihæfileikar eru grunnábyrgðin fyrir hálfleiðarahlutaiðnaðinn.

C. Sundrungin er augljós. Alþjóðleg leiðandi fyrirtæki samþykkja aðallega þverfaglega fjölvörulínuþróun og m&a stefnu.

Í samanburði við markaðinn fyrir hálfleiðarabúnað er markaðurinn fyrir hálfleiðarahluta skiptari og sundurleitari. Markaðsrými fyrir eina vöru er lítið og tæknileg þröskuldur hár, svo það eru fá fyrirtæki í hreinum hálfleiðarahluta. Alþjóðlegu leiðandi hálfleiðaraíhlutafyrirtækin taka venjulega þróunarstefnu fyrir fjölvörulínur þvert á iðnað og hálfleiðaraíhlutir eru oft bara eitt af fyrirtækjum þessara stóru íhlutaframleiðenda. MKS Instruments, til dæmis, hefur mikla markaðshlutdeild í gasmælum/reactors, RF/DC aflgjafa, tómarúmsvörur og vélfæravopnum. Auk þess að nota hálfleiðara eru MKS tæki mikið notuð í iðnaðarframleiðslu og líf- og heilbrigðisvísindum. Stöðugar sameiningar og yfirtökur og samþætting eru einnig helsta leiðin fyrir alþjóðlega leiðandi hálfleiðaraíhlutafyrirtæki til að auka umfang sitt. Sem dæmi má nefna að Atlas (Atlas Copco, Svíþjóð), alþjóðlegt leiðandi fyrirtæki í iðnaðarbúnaði, hefur stöðugt verið að auka hálfleiðara tómarúmdælustarfsemi sína eftir að hafa keypt Edwards árið 2014. Árið 2016 keypti Atlas Leybold Germany, annan leiðtoga á sviði lofttæmistækni, og setti á laggirnar sérstaka lofttæmitæknideild árið 2017. Í júlí 2019 keypti Atlas aftur frystisvið Brooks. Kaupin, sem fela í sér cryopump rekstrarfyrirtækið og 50% hlut Brooks í Ulvac Cryogenics, styrkja enn frekar alþjóðlega samkeppnishæfni tómarúmsviðs síns í hálfleiðurageiranum.

03 Markaðsstærð og þróunarmynstur hálfleiðarahluta

(1) Umfang og mynstur á heimsmarkaði fyrir hálfleiðarahluta

Alheimsmarkaðurinn fyrir hálfleiðarahluta samanstendur aðallega af tveimur hlutum í samræmi við mismunandi þjónustuhluti. Í fyrsta lagi varahlutir og tengd þjónusta sérsniðin eða keypt af alþjóðlegum framleiðendum hálfleiðarabúnaðar. Samkvæmt VLSI var undirkerfismarkaðurinn fyrir hálfleiðarabúnað tæplega 10 milljarða dollara í sölu árið 2020, með viðhalds- og stoðþjónustu fyrir 46%, sala íhluta fyrir 32% og skipti og uppfærsla fyrir 22%. Í öðru lagi varahlutir og tengd þjónusta sem alþjóðlegir hálfleiðaraframleiðendur kaupa beint sem rekstrarvörur eða varahlutir. Samkvæmt Xinmou gögnum [2], árið 2020 fór kaupupphæð framlínubúnaðarhluta fyrir 8 tommu og 12 tommu obláta línur á meginlandi Kína yfir 1 milljarð Bandaríkjadala. Framleiðslugeta Kína er um 12-15% af heiminum. Miðað við innkaupaeftirspurn eftir virðisaukandi íhlutum sem háþróaðri tækni hefur í för með sér, er alþjóðlegt innkaupamagn íhluta fyrir 8 tommu og 12 tommu obláturlínu framlínubúnað að minnsta kosti meira en $ 10 milljarðar. Þess vegna, þegar þessir tveir hlutar eru sameinaðir, er hægt að áætla heimsmarkaðinn fyrir hálfleiðarahluta á $ 20 milljarða til $ 25 milljarða eða meira.

Þrátt fyrir að heildarstærð hálfleiðarahlutamarkaðarins sé aðeins minna en 5% af alþjóðlegum hálfleiðaramarkaðsstærð sem er næstum $500 milljarðar, er verðmæti hluta venjulega tugum sinnum eigin verð, sem hefur sterka iðnaðargeislunargetu og áhrif. Að auki endurspeglar lykiltækni hálfleiðarahluta tæknistig iðnaðar og hálfleiðarabúnaðar landsins og hefur mjög mikilvæga stefnumótandi stöðu. Tækniframfarir þess eru forsenda tækninýjunga í stafrænu hagkerfi og upplýsingaforritaiðnaði.

Samkvæmt gögnum VLSI [3], ZEISS (sjónlinsa), MKS tæki (MFC, RF aflgjafi, tómarúmvörur), Edwards (tæmisdæla), Advanced Energy (RF aflgjafar), Horiba (MFC), VSK (tæmilokar), Ichor (modular gasflutningskerfi og aðrir íhlutir), Ultra Clean Tech (þéttikerfi), ASML (sjónhlutar) og EBARA (þurrdælur).

Tafla 2-1. Röð yfir 10 fremstu framleiðendur hálfleiðara íhluta í heiminum

(Gagnaheimild: ársskýrsla hvers fyrirtækis, samantekt netupplýsinga)

Samkvæmt gögnum VLSI á mynd 2-1 hefur heildarmarkaðshlutdeild tíu efstu birgjanna tilhneigingu til að vera stöðug í um 50% undanfarin 10 ár. En vegna ströngra krafna hálfleiðarahluta um nákvæmni og gæði, hvað varðar einn hálfleiðarahluta, er heimurinn aðeins fáir birgjar sem geta útvegað vörur, það leiddi einnig til þess að þó hálfleiðarahlutir í kringum iðnaðarþéttnihlutfallið er aðeins 50% , en flokkur hluti styrkur oft yfir 80% til 90%, einokunaráhrif eru augljós. Til dæmis, á sviði rafstöðueiginleika, er það í grundvallaratriðum einkennist af bandarískum og japönskum hálfleiðarafyrirtækjum (sjá töflu 2-2), sem eru meira en 95% af markaðshlutdeild, aðallega þar á meðal AMAT (Applied Materials), LAM (Panlin) Group), og Shinko (Nippon Electric), TOTO og NTK (japönsk fyrirtæki).

Mynd 2-1. Markaðshlutdeild 10 fremstu framleiðenda hálfleiðaraíhluta í heiminum er stöðug í kringum 50% (gagnaheimild: VLSI)

Tafla 2-2. Listi yfir leiðtoga á heimsvísu í helstu íhlutum

(Gögn uppspretta: Jiangfeng Electronics, netupplýsingasöfnun)

(2) Markaðsstærð og mynstur hálfleiðarahluta í Kína

Sem stendur er hálfleiðarahlutaiðnaður Kína enn á frumstigi og heildarumfangið er lítið. Samkvæmt Xinmou gögnum [2], árið 2020 keyptu kínverskir staðbundnir oblátaframleiðendur (aðallega þar á meðal SMIC, Huahong Group, China Resources Microelectronics, Changjiang Storage, osfrv.) hluta af 8 tommu og 12 tommu framrásarbúnaði gegn kostnaði upp á um 430 milljónir dollara. En búist er við að eftirspurn eftir hálfleiðurum íhlutum verði áfram mikil vegna hraðrar stækkunar á innlendri kínversku diskaframleiðslugetu, sem búist er við að muni bæta við 50% af nýrri afkastagetu árið 2023. Áætlað er að markaðsstærð hálfleiðarahluta í Kína muni fara yfir 8 milljarða júana árið 2023 og 12 milljarða júana árið 2025, í samræmi við innkaupaeftirspurn búnaðar og hluta í framleiðslulínu.

Þrátt fyrir hraðan vöxt innlends hálfleiðarahlutamarkaðar er tæknigeta, vinnslustig, vörunákvæmni og áreiðanleiki innlendra varahlutafyrirtækja langt frá því að mæta þörfum innlendra búnaðar- og oblátaframleiðenda og heildarstaðsetningarhlutfallið er enn á lágu stigi. . Almennt séð, fyrir notkun sérsniðinna hönnunarframleiðslu nákvæmni vélhluta, er staðsetningarhlutfall Kína tiltölulega hátt. Vegna þess að innlend hálfleiðarabúnaður á upphafsstigi, til að ná fjöldaframleiðslu eins fljótt og auðið er til að ná háþróaðri stigi, nota oft eigin hönnun og láta erlenda (aðallega Japan, fáan fjölda Suður-Kóreu) örgjörva vinna úr ham. Vegna hálfleiðara búnaðar nákvæmni vinnslu stykki af hráefni, vinnsluaðferðir, yfirborðsmeðferð og hreinsun umbúðir hafa sérstakar kröfur, innlendir örgjörvar geta ekki uppfyllt, að auki, vegna þess að Japan vinnslu tækni veitendur með tegundir af hluta vinnslu hefur ríka reynslu, geta finnast í því ferli að vinna nokkrar villur í hönnuninni og stilla. Síðar, með hægfara stækkun á innlendum markaði, til að draga úr kostnaði og tryggja aðfangakeðjuöryggi, byrjaði lítill fjöldi innlendra framleiðenda hálfleiðarabúnaðar smám saman að rækta örgjörva í öðrum atvinnugreinum að helga sig vinnslu hálfleiðarabúnaðar nákvæmni hluta. Þess vegna, á sviði nákvæmni vélahluta, sem einkennist af búnaðarframleiðendum, hafa innlendir íhlutaframleiðendur náð miklum framförum. En fyrir þá sem eru staðlaðari, mjög háðir samkeppni á markaði fyrir almenna keypta hluta, er staðsetningarhlutfallið yfirleitt mjög lágt. Aðalástæðan er sú að hönnunar- og framleiðslukröfur þessara almennu keyptu hluta eru mjög miklar. Jafnvel þótt sýnishornshlutir innlendra vara geti náð sama stigi, þurfa þeir samt að gera tilraunir til að tryggja stöðugleika fjöldaframleiðslu. Á sama tíma, vegna þess að innlend búnaðarfyrirtæki hafa nýlega náð framförum í staðfærslu, eru þau enn aðgerðalaus í innkaupum á almennum hlutum, aðallega með áherslu á innlendar þroskaðar vörur, og vilja ekki djarflega prófa innlendar nýframleiddar vörur [1].

Þetta eru aðalástæðurnar fyrir því að Kína getur enn ekki náð „sjálfstýringu og stýranlegri“ í kjarnaafurðum hálfleiðarahluta. Samkvæmt innlendum almennum OEM gögnum náði árlegur daglegur rekstur móttekinna hluta (þar með talið viðhaldsskipta og bilunarvarahluta) meira en 2,000, en innlend markaðshlutdeild er aðeins um 8%. Bandaríkin og Japan voru með 59.7 prósent og 26.7 prósent, í sömu röð. Reyndar er hágæða varahlutamarkaðurinn aðallega upptekinn af bandarískum, japönskum og evrópskum birgjum; Lágmarkshlutamarkaðurinn er aðallega upptekinn af birgjum frá Suður-Kóreu og Taívan í Kína. Rafstöðueiginleikar sogurinn er lykilhluti óneyslunnar í oblátaverksmiðjunni og einingarverðið er allt að tugir eða jafnvel hundruð þúsunda dollara. Sem stendur getur ekkert innlent fyrirtæki framleitt viðeigandi þroskaðar vörur, jafnvel álnítríð keramikhráefni sem notuð eru fyrir rafstöðueiginleikar eru langt frá nauðsynlegum tæknilegum vísbendingum og ytri ósjálfstæði er meira en 99%. Að auki, þó að umfang tómarúmdæluiðnaðarins í Kína hafi náð næstum 200 milljörðum júana, þarf enn að flytja inn hágæða vörur Edwards og annarra fyrirtækja fyrir þurrt tómarúmdælur fyrir hálfleiðara. Hins vegar, á undanförnum árum, með hröðun á nýrri afkastagetu og stækkun innlends hálfleiðaraiðnaðar, og stöðugri töf á afhendingu erlendra varahluta vegna hindrunar á flutninga- og flutningaþjónustu af völdum COVID-19 heimsfaraldursins, hafa sumir innlendir hálfleiðarahlutar. fyrirtæki með mikla vaxtarmöguleika hafa tækifæri til að flýta fyrir því að skipta um innlenda hálfleiðarahluta. Til dæmis, The ShowerHead og hola vinnslu fyrirtæki JIANGfeng Electronics, síu fyrirtæki Cobetter, og þurrt tómarúm dæla fyrirtæki Tongjia Hongrui. Tafla 2-3 tekur saman nokkur kínversk fyrirtæki á mismunandi sviðum hálfleiðaraíhluta.

Tafla 2-3. Helstu innlend hálfleiðarahlutafyrirtæki

(Gagnaheimild: Netupplýsingasöfnun)

04 Helstu vandamál staðsetningar hálfleiðarahluta

(1) Skortur á athygli á hlutum og íhlutum, iðnaðarstuðningsstefna er ekki á sínum stað

Heildarumfang hálfleiðarahlutaiðnaðarins er í milljörðum. Í samanburði við kjarna iðnaðarkeðju hálfleiðara er rúmmálið minna, vöruafbrigði og forskriftir eru margvíslegar, leiðandi fyrirtæki eru fá, iðnaðarþéttni er lítil og núverandi tæknileg vandamál eru dreifð, svo það hefur ekki verið veitt nægilega athygli. í langan tíma. Þar sem 2014 í okkar landi mun stuðla að þróun hálfleiðara iðnaður hækkaði í landsvísu stefnu, þá að minnsta kosti meira en 30 sveitarstjórnir kynnti stefnu stuðning til að stuðla að þróun hálfleiðara iðnaður [9], en bæði landsvísu og sveitarfélaga, stefnu áherslu Meira um hönnun, framleiðslu, prófun, búnað, efni, hálfleiðarahlutaiðnað sem sjaldan er fjallað um. Hvað varðar fjármagn eru hluta- og íhlutafyrirtæki sjaldan ívilnuð af fjármagni. Landssjóður IC Industry Fjárfestingarsjóður fjárfestir nú minna en 100 milljónir júana í hálfleiðarahlutum. Í lok árs 2020 er heildarmarkaðsvirði skráðra fyrirtækja sem aðallega stunda hálfleiðarahluta (minna en 30 milljarðar júana) aðeins 1% af heildarmarkaðsvirði allra keðjufyrirtækja í hálfleiðaraiðnaði (meira en 3 billjónir júana).

(2) Tiltölulega afturábak nýsköpunargeta og augljóst bil í kjarnatækni

Vegna þess að varahlutaiðnaður hafði ekki fengið athygli í langan tíma, getur aðeins dónalegur vöxtur, þannig að flest innlend hlutafyrirtæki í hálfleiðaraiðnaðinum er aðallega að veita viðgerðar- og skiptiþjónustu, hreinsunarþjónusta er sett í forgang, heildar rannsóknir og þróun, nýsköpunargeta er tiltölulega aftur á bak, langa dvöl á stigi lág-endir framleiðslu staðall og afrita erlendar vörur, algerlega tækni bilið er augljóst. Samkvæmt útboðslýsingu skráðs hálfleiðarahlutafyrirtækis í Kína eru aðeins 15 starfsmenn í rannsóknum og þróun, og heildar rannsókna- og þróunarfjárfesting frá 2016 til 2018 er innan við 20 milljónir júana og meðalárleg fjárfestingarstyrkur rannsókna og þróunar er minna en 5%. Að auki endurspeglast skortur á nýsköpunargetu hálfleiðarahlutaiðnaðar í Kína einnig í ófullkomnu staðlakerfi iðnaðarins, alvarlegum skorti á fjárfestingum í grunnferlarannsóknum, skorti á aðgangi að ferlitækni, skorti á náinni samsetningu vísindarannsókna og framleiðsluaðferðir og mörg önnur vandamál. Það takmarkar nýstárlega þróun burðarhönnunartækni, áreiðanleikatækni, framleiðslutækni og ferli og grunnrannsóknir á efnisframmistöðu hálfleiðarahluta.

Tafla 2-4 tæknilegir erfiðleikar í innlendum hálfleiðurum

(Gagnaheimild: SMIC [4], Jiangfeng Electronics [6], vinnsla netupplýsinga）

(3) Ófullnægjandi framboð af iðnaðarmönnum og skortur á skilvirku hvatningarkerfi

Sem stendur hefur hæfileikabilið í hálfleiðaraiðnaði Kína náð hundruðum þúsunda manna. Þrátt fyrir að Kína hafi innleitt fjölda stuðningsráðstafana í hæfileikaþjálfun hálfleiðara á undanförnum árum, beinist mikill fjöldi hæfileikaþjálfunar hálfleiðara aðallega að hönnun, framleiðslu, búnaði og efni, og enn skortir athygli á hæfileikaþjálfun í hálfleiðarahlutum. og aðrar undirstöðuatvinnugreinar. Í grunngreinum umbóta menntakerfisins, faglegum stillingum, faggildingu verkfræðimenntunar á vinnustað, tækni, osfrv skortur á heildarskipulagningu og framfylgd, hlutum og íhlutum til alvarlegs skorts á faglegri grunn- og fagfærninámskrá, en einnig skortur á að tala fyrir fágun, sannleiksleit, nýsköpun, góður í hönnun, góður í mikilvægum handverksmanni andlega leiðsögn [5]. Að auki stendur hálfleiðarahlutaiðnaðurinn frammi fyrir alvarlegu hæfileikahvatakerfi er ekki til staðar. Þrátt fyrir að heildarlaunastig innlendra hálfleiðaraiðnaðarmanna hafi verið bætt verulega samanborið við það sem áður var, en fyrir vélræna vinnslu, nákvæmni tæki, yfirborðsmeðferð og aðrar atvinnugreinar sem hluta- og íhlutafyrirtæki krefjast, eru laun starfsmanna almennt verulega lægri en laun starfsmanna. meðalstig hálfleiðaraiðnaðarins. Samkvæmt útboðslýsingu hálfleiðarahlutafyrirtækis í Kína hafði það aðeins 15 starfsmenn á sviði rannsókna og þróunar áður en þeir fóru á markað og árslaun tæknilegra starfsmanna voru aðeins 75,000 júan og venjulegs rannsóknar- og þróunarstarfsmanna aðeins 30,000 júan. Lág launastigið leiðir til alvarlegrar atgervisflóttar hjá hálfleiðarahlutafyrirtækjum, sem leiðir af sér vítahring skorts á arftaka í grunnhlutaiðnaðinum.

(4) Ósamræmdir hlekkir iðnaðarkeðju og ófullnægjandi stuðningsgeta uppstreymis

Hálfleiðaraíhlutir þurfa að gangast undir strangar og flóknar sannprófunaraðferðir áður en hægt er að sannreyna þá með stórum framleiðslulínum og selja í stórum stíl. Þess vegna þurfa framleiðendur íhluta að vera í fullu samstarfi við búnað og framleiðendur eftir straum. Sem stendur er sannprófunarferlið á netinu fyrir hálfleiðarahluta í Kína flókið og ferlið er langt. Samhæfingarstig milli framleiðenda, búnaðarframleiðenda og innlendra framleiðenda hálfleiðarahluta er ekki hátt og skortur er á skilvirkum samskiptum og samskiptum. Afleiðingin er sú að báðir aðilar ná ekki tökum á ferlibreytum og samsvörunargetu hvors annars, og innlend staðgöngumáttur er ófullnægjandi. Að auki, í því ferli að endurtaka vöru til lengri tíma litið, hafa núverandi erlendir íhlutaframleiðendur myndað mikinn fjölda þekkingar. Hins vegar, í síðari eftirlíkingu og prufuframleiðsluferli, geta innlendir framleiðendur aðeins náð svipuðu útliti. Vegna skorts á reynslu og lykiltækni er þeim eytt í fyrstu sannprófun og geta þeir ekki farið inn í umfangsmikla umsókn [5]. Að auki geta innlendir framleiðendur hálfleiðaraíhluta ekki fengið stuðning frá hráefnum og framleiðslutækjum og öðrum stoðtengingum, sem hefur einnig áhrif á samkeppnishæfni vara þeirra. Hálfleiðarahlutar eru almennt margvíslegar vörur með miklar kröfur um vinnslunákvæmni, sem krefjast mikils hráefnis og vinnslubúnaðar til framleiðslu þessara hluta og eru dýrar. Vegna áhrifa langmyndaðrar hugmyndar um "þunga aðalgrind, léttan stuðning" hefur iðnaður Kína alvarlega ófullnægjandi fjárfestingu í andstreymis og downstream stuðningssviðum hluta, sem leiðir til bilsins milli Kína og erlendra landa í hráefnum og framleiðslu búnaður hluta. Til dæmis er vinnslustöðin með mikilli nákvæmni sem almennt er notuð í hálfleiðara málmhlutum í Kína á eftir erlendum löndum hvað varðar vinnslunákvæmni, vinnslustöðugleika, rúmfræðilegan sveigjanleika og aðra þætti. Til dæmis eru álblöndur, wolfram og mólýbden, auk hárhreins kvarssands, hráefni til framleiðslu hágæða málmhluta, í grundvallaratriðum einokað af bandarískum og japönskum fyrirtækjum. Einokunarframboð á hráefni gerir það að verkum að birgja/vinnslur/notendur efnis eru óvirkir. Aðal kvarsglerefnið (rör/stöng/festing) er einnig frá fyrirtækjum í Bandaríkjunum, Þýskalandi og Japan. Í langan tíma hefur skortur á andstreymisvinnslubúnaði og hráefnum leitt til reksturs flestra hálfleiðarahlutafyrirtækja í Kína á lágu tæknistigi. Magn hráefna og vinnslubúnaðar er ekki hátt og háþróaður búnaður skortur og er ekki samhæfður, sem getur ekki tryggt samræmi vörugæða og hefur áhrif á bætt vörugæði.

(5) Takmarkaðar framleiðsluaðstæður hafa áhrif á hágæða uppfærslu

Þar sem framleiðsluferlið hálfleiðara er oft í háhita, sterku ætandi umhverfi, þarf um helmingur hálfleiðarahlutanna að gera yfirborðsmeðferð til að bæta tæringarþol þeirra. Til dæmis er plasma ætingarhólfið í hálfleiðara ætingarbúnaði í plasmaumhverfi með mikilli þéttleika, mikilli tæringu og mikilli virkni. Hólfið og íhlutir þess eru auðveldlega tærðir af plasma. Til að lengja endingartíma þessara íhluta er anodic oxun oft notuð á yfirborði álgrunnefna (ál og álblöndu). Plasmaið getur í raun dregið úr tæringu holrúmsins og annarra álgrunnefna. Og sífellt strangari umhverfiskröfur Kína, fyrir meirihluta yfirborðsmeðferðartækni eins og sandblástur, úða, rafhúðun, rafskautaoxun og svo framvegis stýrð þróun, sem leiðir til háþróaðrar yfirborðsmeðferðartækni, til dæmis örbogaoxun, há- enda úða, Y2O3 keramik húðun, o.fl., innlend bil stærri allan tímann, hefur einnig bein áhrif á frammistöðu varahluta og gæði vöru, þó að kínverskir framleiðendur geti mótað ventlahluta, sturtuhausa gasúðahausa, keramikhluta og aðra hluta samkvæmt teikningum , þróun þeirra er takmörkuð af grunninum vegna þess að þeir geta ekki leyst vandamál efna og yfirborðsmeðferðar. Að auki er sum háþróaða tækni hálfleiðaraíhluta takmörkuð af „banni“ og innlend fyrirtæki skortir teikningar og nákvæmnisgögn, sem kemur í veg fyrir að þau þróist yfir í háþróaða tækni. Sem dæmi má nefna að lágspennu tómarúmsmælir framleiddur af MKS hefur alltaf þurft að sækja um útflutningsleyfi til kaupa [6].

05 Tillögur um þróun hálfleiðarahlutaiðnaðar í Kína

(1) Leggðu áherslu á hönnun á efstu stigi og leiðbeina iðnaðarþróun

Hálfleiðarahlutageirinn, sem lengi hefur reitt sig mikið á háþróuð lönd eins og Bandaríkin og Japan, þarf að huga betur að hönnun á efstu stigi. Lagt til með því að gera sérstaka hálfleiðara hluti iðnaðar þróunaráætlun, áætlun eða vegvísi, ákvarða langtíma stefnumótandi ramma iðnaðarþróunar, og á mismunandi tímabilum í samræmi við þróunaraðstæður heima og erlendis til að setja upp viðeigandi stefnur og áætlanir til að skipuleggja leiðbeina iðnaði þróun, einnig olli öllu samfélaginu sérstaklega markaðsvæðingu fjármagns hálfleiðara hluti iðnaður athygli.

(2) Setja upp sérstök iðnaðarverkefni til að örva nýsköpun

Til þess að átta sig á hraðri þróun og velmegun hálfleiðarahlutaiðnaðarins er grundvallaratriðið að auka getu sjálfstæðrar nýsköpunar. Sem stendur getur hálfleiðarahlutaiðnaðurinn í Kína ekki náð alhliða ábyrgð á aðfangakeðju hálfleiðara aðeins með eftirlíkingu og rekjatækni, aðeins með sjálfstæðri nýsköpun. Þrátt fyrir að sum hlutafyrirtæki hafi verið styrkt í sérstökum 02 [7] ætti að gera frekari tilraunir. Mælt er með í innlendri vísinda- og tækniáætlun sérstaklega stofnað sérstakan hálfleiðarahlutaiðnað, sameiginlega innlenda hálfleiðarahluta leiðandi fyrirtæki, hluta innlendra stofnana tækninýsköpunarvettvangs eða undirbúa byggingu, safna styrkleikum sem miða að byltingarpunkti og meginstefnu, fylgja sjálfstæðum nýsköpunarrannsóknir og þróun, leitast við að sigrast á hópi af helstu kjarna tækni iðnaðargrunni, Við munum koma á tækninýsköpunarkerfi þar sem fyrirtæki gegna leiðandi hlutverki og fyrirtæki, háskólar, rannsóknarstofnanir og umsóknir eru sameinuð og leiðbeina rannsóknum og þróun háþróaða tækni, grunntækni og almenna lykiltækni á sviði hálfleiðaraíhluta á landsvísu.

(3) Að bæta upp eyður í stefnu og styrkja leiðbeiningar um fjárfestingar

Hálfleiðarahlutaiðnaður er iðnaður með fullri samkeppni á markaði. Vegna smæðar, mikils magns og þunnrar vöruhagnaðar innlendra hlutafyrirtækja er ekki hægt að bera saman rannsóknir og þróun nýrra vara og tækni við alþjóðleg stórfyrirtæki, svo það er erfitt að vinna með markaðssamkeppni eingöngu. Hins vegar, samkvæmt núverandi alþjóðlegum geopólitískum bakgrunni, er nauðsynlegt fyrir stjórnvöld að innleiða viðeigandi sérstaka stefnu til að leiðbeina og styðja og hjálpa innlendum hálfleiðarahlutafyrirtækjum að vaxa hratt. Lagt er til að helstu vörur sem eru þróaðar sjálfstætt af innlendum hálfleiðarahlutafyrirtækjum ættu að vera niðurgreiddar og studdar af innlendum og staðbundnum fjármunum, efla ætti hugverkaréttindavernd á sjálfstætt hönnuðum vörum og hálfleiðarahlutar ættu að vera með í innkaupaskrá ríkisins í fyrsta sinn. sett. Hvetja alls kyns innlenda iðnaðarsjóði og félagslegt fjármagn til að fjárfesta virkan í hálfleiðarahlutafyrirtækjum og aðstoða við þróun innlendra hálfleiðarahlutafyrirtækja í gegnum fjármagnsmarkaðinn.

4) Auka hæfileikakynningu og þjálfun og efla hæfileikaframboð

Styrkja alhliða ræktun og kynningu á verkfræði, rannsóknum og samsettum hæfileikum á sviðum tengdum hálfleiðarahlutum [8]. Stórar rannsóknarstofnanir eru hvattar til að koma á fót framhaldsnámi og vinnustöðvum eftir doktorsnám á sviði hálfleiðarahluta og íhluta og treysta á stór innlend verkfræðiverkefni og stór vísinda- og tækniverkefni til að þjálfa leiðandi hæfileikamenn í verkfræði og tækni hálfleiðarahluta og íhluta. Við mælum með því að fyrirtæki, skólar og vísindarannsóknarstofnanir stundi sameiginlega starfsmenntun og þjálfun á vinnustað, efla með virkum hætti samstarf skóla og fyrirtækja til að rækta sameiginlega hæft starfsfólk, í gegnum pöntunarfræðslu skóla og fyrirtækja, miðstýrða þjálfun, stefnumiðaða þjálfun eða falin þjálfun, mikill fjöldi hæft starfsfólk hálfleiðara hluta, styrkja hæfileikaframboð. Við munum kynna erlenda verkfræðitæknileiðtoga og hæfileika sem skortir eru með virkum hætti með ýmsum hætti, hvetja sveitarfélög til að kynna hæfileikastefnu fyrir kjarna tækni burðarásar og leiðandi frumkvöðla á sviði hálfleiðaraíhluta, bæta stöðugt hæfileikahvatakerfið og örva orku iðnaðarþróun.

(5) Stuðla að tengingu hluta og tryggja sjálfstætt framboð

Stuðla að „tengingu“ hluta birgðakeðju sem byggir á hálfleiðurum og aftengja hlutavörur og búnað algjörlega til baka, framleiðsla, í gegnum leiðbeiningar stjórnvalda, hvetja innlendar verksmiðjur og búnaðarverksmiðjur til að gegna hlutverki stóru framleiðslulínunnar og samhæfingarinnar, samstarfsframleiðendur staðbundinna varahluta í gegnum JieBang 1, kappreiðar, stefnurannsóknir á margvíslegan hátt, svo sem að styrkja samvinnu iðnaðarkeðjunnar, átta sig á samræmdri þróun mainframe og grunnhluta. Styðja hálfleiðaraframleiðslu eða búnaðarverkfræðiverkefni undir stjórn lands- eða sveitarstjórna, veita innlendum hálfleiðarahlutum sannprófunartækifærum forgang og veita ákveðna áhættustyrki. Hvetja framleiðendur véla, rafeindatækja, efna og annarra búnaðarhluta til að stækka og stækka hálfleiðaraviðskipti á virkan hátt, byggt á eigin tæknilegum grunni, þróa hágæða vörur til að mæta þörfum hálfleiðarabúnaðar, treysta enn frekar og bæta vöruuppsetningu og auka sjálfstæða vöru. framboð á innlendum varahlutum.

Fyrirvari: Þessi grein er endurprentuð frá "Zhu Jing", þessi grein táknar aðeins persónulegar skoðanir höfundar, táknar ekki skoðanir Sakwei og iðnaðarins, aðeins til að endurprenta og deila, styðja vernd hugverkaréttinda, vinsamlegast tilgreinið upprunalega uppruna og höfundur, ef um brot er að ræða, vinsamlegast hafðu samband við okkur til að eyða.