මෑතකදී, සිංහුවා විශ්ව විද්‍යාලයේ රසායන විද්‍යා අංශයේ මහාචාර්ය ෂු හුවාපින්ගේ නායකත්වයෙන් යුත් පර්යේෂණ කණ්ඩායම අන්ත පාරජම්බුල (EUV) ප්‍රකාශ ප්‍රතිරෝධක ද්‍රව්‍යවල සැලකිය යුතු ප්‍රගතියක් ලබා ඇත. ඔවුන් උසස් අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ ප්‍රධාන ද්‍රව්‍ය සඳහා නව නිර්මාණ උපාය මාර්ගයක් ඉදිරිපත් කරමින් පොලිටෙලුඔක්සේන් (PTeO) මත පදනම් වූ නව ප්‍රකාශ ප්‍රතිරෝධකයක් සංවර්ධනය කළහ.

ඒකාබද්ධ පරිපථ ක්‍රියාවලීන් 7nm නෝඩය සහ ඉන් ඔබ්බට ඉදිරියට යන විට, 13.5 nm තරංග ආයාම EUV ලිතෝග්‍රැෆි යනු දියුණු චිප් නිෂ්පාදනයට ඉඩ සලසන මූලික තාක්‍ෂණය බවට පත්ව ඇත. කෙසේ වෙතත්, ඉහළ පරාවර්තන අලාභය සහ අඩු දීප්තිය වැනි EUV ආලෝක ප්‍රභවයන්ගේ ලක්ෂණ අවශෝෂණ කාර්යක්ෂමතාව, ප්‍රතික්‍රියා යාන්ත්‍රණ සහ දෝෂ පාලනය සම්බන්ධයෙන් ඡායාරූප ප්‍රතිරෝධක මත වැඩි අභියෝග පටවයි. වර්තමාන ප්‍රධාන ධාරාවේ EUV ඡායාරූප ප්‍රතිරෝධක බොහෝ විට සංවේදීතාව වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා රසායනික විස්තාරණ යාන්ත්‍රණ හෝ ලෝහ-සංවේදී පොකුරු මත විශ්වාසය තබයි, නමුත් සංකීර්ණ ව්‍යුහයන්, අසමාන සංරචක ව්‍යාප්තිය, ප්‍රතික්‍රියා පහසුවෙන් විසරණය කිරීම සහ ස්ටෝචස්ටික් දෝෂ හඳුන්වාදීම වැනි ගැටළු වලට නිතර මුහුණ දෙයි. පරමාදර්ශී ඡායාරූප ප්‍රතිරෝධක පද්ධතියක් ගොඩනැගීම සඳහා මෙම බාධක බිඳ දැමීම වත්මන් EUV ලිතෝග්‍රැෆි ද්‍රව්‍ය ක්ෂේත්‍රයේ මූලික අභියෝගයකි. පරමාදර්ශී EUV ඡායාරූප ප්‍රතිරෝධකයෙකුට එකවර පහත සඳහන් ප්‍රධාන අංග හතරක් තිබිය යුතු බව අධ්‍යයන ප්‍රජාව පුළුල් ලෙස එකඟ වේ: 1) නිරාවරණ මාත්‍රාව අඩු කිරීමට සහ සංවේදීතාව වැඩි දියුණු කිරීමට ඉහළ EUV අවශෝෂණ ධාරිතාව; 2) ඉහළ ශක්ති උපයෝගිතා කාර්යක්ෂමතාව, ආලෝක ශක්තිය කුඩා පරිමාවක් තුළ ඡායාරූප ප්‍රතිරෝධක ද්‍රව්‍ය ද්‍රාව්‍යතාවයේ වෙනස්කම් බවට කාර්යක්ෂමව පරිවර්තනය කිරීම සහතික කිරීම; 3) අහඹු සංරචක ව්‍යාප්තිය සහ විසරණය නිසා ඇතිවන දෝෂ ශබ්දය වළක්වා ගැනීම සඳහා අණුක පරිමාණ ඒකාකාරිත්වය; 4) විභේදනය මත මූලද්‍රව්‍ය ලක්ෂණ ප්‍රමාණයේ බලපෑම ඉවත් කිරීම සහ රේඛා දාර රළුබව (LER) අඩු කිරීම සඳහා අවම ගොඩනැගිලි ඒකක. දිගු කාලයක් තිස්සේ, ද්‍රව්‍ය පද්ධති කිහිපයකට නිර්ණායක හතරම සපුරාලිය හැකි විය.

මහාචාර්ය ෂු හුවාපින්ගේ පර්යේෂණ කණ්ඩායම, ඉහත සඳහන් කළ පරමාදර්ශී ප්‍රකාශ ප්‍රතිරෝධකයේ කොන්දේසි සපුරාලමින්, පොලිටෙලුඔක්සේන් සොයා ගැනීම මත පදනම්ව, නව EUV ප්‍රභා ප්‍රතිරෝධකයක් සංවර්ධනය කළේය. මෙම අධ්‍යයනයේ දී, කණ්ඩායම ඉහළ EUV-අවශෝෂණ මූලද්‍රව්‍යයක් වන ටෙලුරියම් (Te) Te─O බන්ධන හරහා පොලිමර් කොඳු නාරටියට සෘජුවම ඇතුළත් කළේය. නිෂ්ක්‍රීය වායු සෙනෝන් (Xe), රේඩෝන් (Rn) සහ විකිරණශීලී මූලද්‍රව්‍ය ඇස්ටැටීන් (At) හැර අනෙකුත් සියලුම මූලද්‍රව්‍ය අතර ඉහළම EUV අවශෝෂණ හරස්කඩ ටෙලුරියම් සතුව ඇත. එහි EUV අවශෝෂණ ධාරිතාව සාම්ප්‍රදායික ප්‍රකාශ ප්‍රතිරෝධකවල සහ Zn, Zr, Hf සහ Sn වැනි ලෝහ මූලද්‍රව්‍යවල බහුලව භාවිතා වන කෙටි කාලීන මූලද්‍රව්‍යවලට වඩා බෙහෙවින් ඉක්මවා යන අතර, ප්‍රකාශ ප්‍රතිරෝධකයේ EUV අවශෝෂණ කාර්යක්ෂමතාව සැලකිය යුතු ලෙස වැඩි කරයි. ඒ සමඟම, Te─O බන්ධනයේ සාපේක්ෂව අඩු විඝටන ශක්තිය EUV අවශෝෂණය මත සෘජු ප්‍රධාන දාම විච්ඡේදනයට ඉඩ සලසයි, ද්‍රාව්‍යතා වෙනස්කම් ඇති කරයි සහ ඉහළ සංවේදීතා ධනාත්මක-ස්වර සංවර්ධනය සක්‍රීය කරයි. මෙම ප්‍රභා ප්‍රතිරෝධකය තනි සංරචක කුඩා අණු වලින් පමණක් සංස්ලේෂණය කර ඇති අතර, අතිශය සරල සැලසුමක් යටතේ පරමාදර්ශී ප්‍රභා ප්‍රතිරෝධකයක ලක්ෂණ ඒකාබද්ධ කරමින්, ඊළඟ පරම්පරාවේ EUV ප්‍රභා ප්‍රතිරෝධක ගොඩනැගීම සඳහා පැහැදිලි සහ කළ හැකි මාර්ගයක් සපයයි.

පොලිටෙලුඔක්සේන්: අයිඩියල් EUV ප්‍රභා ප්‍රතිරෝධක ද්‍රව්‍යය

මෙම පර්යේෂණය මගින් ඉහළ අවශෝෂණ මූලද්‍රව්‍ය Te, ප්‍රධාන දාම කතුර යාන්ත්‍රණයක් සහ ද්‍රව්‍ය ඒකාකාරිත්වය ඒකාබද්ධ කරන ප්‍රභා ප්‍රතිරෝධක නිර්මාණ මාර්ගයක් සපයයි. එය ඊළඟ පරම්පරාවේ EUV ලිතෝග්‍රැෆි ද්‍රව්‍ය සංවර්ධනය ප්‍රවර්ධනය කිරීමට සහ උසස් අර්ධ සන්නායක ක්‍රියාවලීන්හි තාක්ෂණික නවෝත්පාදනයට සහාය වීමට අපේක්ෂා කෙරේ.

අදාළ ජයග්‍රහණය ජූලි 16 වන දින Science Advances හි "EUV ෆොටෝරෙසිස්ට් සඳහා කදිම සූත්‍රගත කිරීම ලෙස පොලිටෙලුඔක්සේන්" යන මාතෘකාව යටතේ ප්‍රකාශයට පත් කරන ලදී.

අප ගැන SLKOR:

SLKORචීනයේ ෂෙන්සෙන් හි මූලස්ථානය වන, බලශක්ති අර්ධ සන්නායක අංශයේ වේගයෙන් නැගී එන ජාතික අධි තාක්‍ෂණික ව්‍යවසායයකි. බීජිං සහ සුෂෝ හි පර්යේෂණ සහ සංවර්ධන මධ්‍යස්ථාන සමඟ, එහි ප්‍රධාන තාක්ෂණික කණ්ඩායම සිංහුවා විශ්ව විද්‍යාලයෙන් ආරම්භ වේ. සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) බල උපාංග තාක්ෂණයේ නවෝත්පාදකයෙකු ලෙස, SLKORහි නිෂ්පාදන නව බලශක්ති වාහන, ප්‍රකාශ වෝල්ටීයතා බල උත්පාදනය, කාර්මික IoT සහ පාරිභෝගික ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණවල බහුලව භාවිතා වන අතර, ගෝලීය වශයෙන් සේවාදායකයින් 10,000 කට අධික සංඛ්‍යාවකට තීරණාත්මක අර්ධ සන්නායක විසඳුම් සපයයි.

සමාගම වාර්ෂිකව ඒකක බිලියන 2 කට වඩා නිපදවන අතර, එහි SiC MOSFET සහ 5 වන පරම්පරාවේ අතිශය වේගවත් ප්‍රතිසාධන SBD ඩයෝඩ කාර්යක්ෂමතා අනුපාතය සහ තාප ස්ථායිතාව සම්බන්ධයෙන් කර්මාන්ත මිණුම් සලකුණු තබයි. SLKOR නව නිපැයුම් පේටන්ට් බලපත්‍ර 100කට අධික සංඛ්‍යාවක් හිමිකරගෙන ඇති අතර නිෂ්පාදන ආකෘති 2,000+ක් පිරිනමයි, බලශක්ති උපාංග, සංවේදක සහ බල කළමනාකරණ IC හරහා එහි IP කළඹ අඛණ්ඩව පුළුල් කරයි. ISO 9001, EU RoHS/REACH, සහ CP65 අනුකූලතාව ඇතුළු සහතික මඟින් තාක්ෂණික නවෝත්පාදනය, කෙට්ටු නිෂ්පාදනය සහ තිරසාර සංවර්ධනය සඳහා සමාගමේ ස්ථිර කැපවීම පෙන්නුම් කරයි.