Am Fall vu Konflikt tëscht der Ënnerstëtzungspolitik fir d'Integréiert Circuitindustrie an dësen Meenungen, sinn dës Meenungen virrangen. Wann de Projet vun "een Fall, eng Diskussioun" muss déi zoustänneg Politik vun dëser Meenung ëmsetzen, et gëtt eenheetlech an der Ënnerschrëft Accord uginn an net ëmmer erëm genéissen.

Abstrakt: D'Halbleiterindustrie ass de Kär ënnerstëtzend Industrie fir China d'strategesch wëssenschaftlech an technologesch Kraaft ze bauen, an d'Halbleiter-Deeler ass de Schlësselberäich fir déi héichqualitativ Entwécklung vun der China's Semiconductor-Industrie ze bestëmmen. Och wa China d'Halbleiterindustrie an der Etapp vun der beschleunegter Entwécklung ass, ass d'Halbleiter-Deelindustrie nach ëmmer mat ville Probleemer konfrontéiert, sou wéi niddereg Lokalisatiounsquote, net genuch laangfristeg Ënnerstëtzung an Investitioun, schwaach onofhängeg Innovatiounsfäegkeet vun den Entreprisen, schlecht Upstream an Downstream Zesummenaarbecht vun der Industrie, Mangel un Talent Training an Ureiz Mechanismus. Dëse Pabeier wäert d'Entwécklungseigenschaften an d'Schlësselbetriber vun der globaler Hallefleit-Deelindustrie ëmfaassend resuméieren, d'Maartgréisst an d'Entwécklungsmuster doheem an am Ausland studéieren, a relevant Entwécklungsvirschléi fir d'Haaptprobleemer virstellen, déi d'Halbleiter-Deelindustrie am Moment konfrontéiert sinn.

01. Aleedung

Semiconductor Deeler bezéien sech op déi Deeler déi den Ufuerderunge vun der Halbleiterausrüstung an der Technologie entspriechen wat Material, Struktur, Prozess, Qualitéit a Genauegkeet, Zouverlässegkeet a Stabilitéit ugeet. Wéi O-Ring Dichtungsring, EFEM (Transmissiounsmodul), RF Gen RF Energieversuergung, ESC elektrostatesch Saugbecher, Si Siliziumring an aner strukturell Deeler, Pompel Vakuum Pompel, MFC Gas Flowmeter, Präzisiounslager, ShowerHead Gasspraykopf. Semiconductor Ausrüstung besteet aus Dausende vun Deeler, d'Performance, d'Qualitéit an d'Präzisioun vun den Deeler bestëmmen direkt d'Zouverlässegkeet an d'Stabilitéit vun der Ausrüstung, ass och d'Schlësselelementer an der China Halbleiterfabrikatiounskapazitéit fir High-End Sprangen. D'Halbleiter-Deelindustrie huet spéit ugefaang, de Gesamtniveau vun der Halbleiter-Deelindustrie a China ass niddereg, d'Versuergungskapazitéit vun High-End Produkter ass net genuch, an de Problem vun der schlechter Produktverlässegkeet, Stabilitéit a Konsistenz ass ëmmer méi prominent. An ëmmer méi komplex global makro-politesch a wirtschaftlech, d'Ënnerdréckung vun Inhalt Strategie ënner dem Hannergrond vum Opstig vun héich Technologie Industrie a China ass d'Zäit "Phänomen ass méi prominent, déi net nëmmen op d'Entwécklung vun héich-Schouljoer héich-Enn semiconductor Industrie a China beschränkt ass, op d'digital Wirtschaft a China, d'Liewen vun de Leit Wirtschaft a Sécherheet bréngt och de Risiko vun kann net ënnerschat ginn.

02 Main Klassifikatioun an Haaptrei Charakteristiken vun semiconductor Deeler

(1) Main Klassifikatioun vun semiconductor Deeler

Semiconductor Deeler sinn d'Schlëssel Komponente vun semiconductor Equipement. No onkomplett Statistiken, huet d'Klassifikatioun vun semiconductor Deeler an der Industrie nach net e Standard geformt, an et sinn haaptsächlech déi folgend Klassifikatioun Methoden.

No der intern Prozess vun typesch IC Equipement Kavitéit, Deeler kënnen a fënnef Kategorien ënnerdeelt ginn: Energieversuergung a Radio Frequenz Kontroll, Gas Transport, Vakuum Kontroll, Temperatur Kontroll, Transmissioun Apparat. D'Energieversuergung a rf Kontrollkategorie enthält RF Generator a Matcher, DC / AC Energieversuergung, etc.. Gastransport enthält haaptsächlech Flow Controller, pneumatesch Komponenten, Gasfilter a sou weider. Vakuum Kontroll Kategorie enthält dréchen Pompel / kal Pompel / molekulare Pompel an aner Vakuum Pompelen, Kontroll Krunn / Pendel Krunn an aner Ventile, Drock Jauge an O-Ring Sigel Ring. Temperatur Kontroll ëmfaasst Heizung Placke / statesch Coupë, Hëtzt exchangers an Levée Komponente. Iwwerdroungsgeräter enthalen mechanesch Aarm, EFEM, Lager, Präzisiounsbunn, Steppermotor, asw.

No den Haaptmaterialien a Funktiounen vun Halbleiterdeeler kënnen se an zwielef Kategorien opgedeelt ginn, dorënner Silizium / Siliciumkarbiddeeler, Quarzdeeler, Keramikdeeler, Metalldeeler, Grafitdeeler, Plastikdeeler, Vakuumdeeler, Dichtungen, Filtratiounsdeeler, bewegt. Deeler, elektronesch Kontroll Deeler an aner Deeler. Dorënner, verschidde Kategorien vun Deeler och eng Rei vun ënnerdeelt Produiten, wéi Vakuum Deeler, dorënner Vakuum Jauge (Mooss Prozess Vakuum), Vakuum Drock Jauge, Gas Flux Meter (MFC), Vakuum Krunn, Vakuum Pompel an aner Schlëssel Deeler.

No de Service Objete vun semiconductor Deeler, semiconductor Kär Deeler kann an zwou Zorte ënnerdeelt ginn, nämlech Präzisioun Maschinn Deeler an allgemeng kaaft Deeler [1]. Präzisioun Maschinn Deeler sinn normalerweis vun den Ingenieuren vun all semiconductor Equipement Firma entworf, an dann outsourced Veraarbechtung, gëtt nëmme fir hir eege Firma d'Ausrüstung benotzt ginn, wéi Prozess Chamber, Transmissioun Chamber, etc., relativ einfach ze domestizéiert, allgemeng op senger Uewerfläch. Behandlung, Präzisioun machining an aner Technologie Ufuerderunge sinn héich; Allgemeng kaaft Deeler sinn e puer allgemeng Deeler déi fir eng laang Zäit verifizéiert goufen a wäit vu villen Ausrüstungsfabriken an Hiersteller unerkannt goufen. Si si méi standardiséiert a gi vu verschiddenen Ausrüstungsfirmen benotzt an och als Ersatzdeeler a Verbrauchsmaterial an der Produktiounslinn benotzt. Zum Beispill, Silicon strukturell Deeler, O-Ring Dichtungsring, Ventile, Gauges, Pompelen, Gesiichtsplack, Gas Duschkopf, asw., si schwéier ze lokaliséieren wéinst hirer staarker Villsäitegkeet a Konsistenz, a musse vun Ausrüstung zertifizéiert ginn an Fabrikatioun Linn.

Table 1-1 resüméiert déi Haaptkomponentprodukter an Hallefleitgeräter déi an enger grousser Zuel vun Apparater a Produktiounslinnen benotzt ginn.

Dësch 1-1. Haaptkomponenten an Halbleiterausrüstung fir Haaptservicer

(Datequelle: Network Information Collation)

(2) Main Charakteristiken vun semiconductor Deeler Industrie

Semiconductor Deeler Industrie ass normalerweis charakteriséiert duerch héich Technologie intensiv, interdisziplinär Integratioun, kleng a verspreet Maartgréisst, awer et spillt eng wichteg Roll an der Wäertkette. Allgemeng schwätzt Ausrüstungsdeeler ongeféier 70% vun den Gesamtausrüstungsausgaben. Huelt d'Ätzmaschinn als Beispill, zéng Schlësselkomponenten stellen 85% vun de Gesamtausrüstungskäschten aus. Et ass de Schlëssel Ënnerstëtzung fir d'Iwwerliewe an Entwécklung vun der semiconductor Industrie, a säin Niveau bestëmmt direkt de Basisniveau vun China d'halbleiterindustrie Innovatioun.

A. Technologie intensiv, héich Ufuerderunge fir Genauegkeet an Zouverlässegkeet.

Am Verglach mat der Basis Deeler vun aneren Industrien, semiconductor Deeler, well se an Präzisioun semiconductor Fabrikatioun benotzt ginn, hunn d'Charakteristiken vun héich Präzisioun, kleng Partie, vill Zorten, speziell Gréisst, komplex Prozess, extrem exigent Ufuerderunge, etc. Wéinst der Besonneschkeet vun Halbleiterdeeler berücksichtegen d'Entreprisen dacks komposit funktionell Ufuerderunge wéi Stäerkt, Belaaschtung, Korrosiounsbeständegkeet, elektronesch Charakteristiken, elektromagnetesch Charakteristiken a Materialreinheet. Déiselwecht Deeler, wa méiglech an der traditioneller Industrien benotzt, awer an der Hallefleitindustrie, sinn d'Schlësseldeeler an der Rengheet vu Matière première, Rohmaterial Batch Konsistenz, Qualitéitsstabilitéit, Kontrollgenauegkeet, Randschrauwen, Ofbauen, Uewerflächrauhegkeet a Kontroll, speziell Uewerfläch Behandlung, propper wäschen, Vakuum Staub-gratis Verpakung, Lead Zäit Noutwendegkeete ass méi héich, Et schaaft eng ganz héich technesch Barrière. Zum Beispill, wéi d'Linn Breet vun der Hallefleitveraarbechtung méi kleng a méi kleng gëtt, ass de Photolithographieprozess extrem strikt fir minimal Verschmotzung ze kontrolléieren. Et kontrolléiert net nëmmen d'Partikel strikt, awer och d'Metallion-Nidderschlag vu Filterprodukter, déi héich Ufuerderunge fir d'Produktioun an d'Fabrikatioun vun Halbleiterfilterdeeler stellt. Am Moment ass d'Präzisioun vum Halbleiterfilterelement erfuerderlech fir 1 Nanometer oder souguer drënner z'erreechen, während d'Präzisioun an aneren Industrien erfuerderlech ass am Mikronniveau ze sinn. Zur selwechter Zäit muss de Halbleiterfilter och d'Konsistenz garantéieren, souwéi d'chemesch an d'Hëtztbeständegkeet, d'staark Resistenz géint d'Ofdreiwung, fir datt d'Hallefleiter Fabrikatioun brauch widderhuelend héich Leeschtung, konsequent Qualitéit an ultra-pure Produktreinheet an aner héich Ufuerderunge.

B. Interdisziplinär Integratioun, héich Ufuerderunge fir zesummegesat technesch Talenter.

Et gi vill Aarte vu Halbleiterdeeler, déi eng breet Palette an eng laang industriell Kette decken. Seng R&D, Design, Fabrikatioun an Uwendung beinhalt interdisziplinär a multidisziplinär Integratioun vu Materialien, Maschinnen, Physik, Elektronik a Präzisiounsinstrumenter, sou datt et eng grouss Nofro fir interdisziplinär Talenter ass. Huelt den elektrostatesche Chuck deen benotzt gëtt fir de Wafer an der Hallefleitfabrikatioun als Beispill ze fixéieren. Alumina Keramik oder Aluminiumnitrid Keramik ginn als Haaptmaterial benotzt, awer aner konduktiv Materialien mussen zur selwechter Zäit bäigefüügt ginn fir d'allgemeng Resistivitéit de funktionnelle Viraussetzungen ze erfëllen, wat e gutt Verständnis vun der thermescher Konduktivitéit, der Verschleißbeständegkeet an der Hardness erfuerdert. Keramik Materialien. Fir d'Basis Rohmaterialien ze kréien fir d'technesch Spezifikatioune vun der Halbleiterfabrikatioun z'erreechen; Zweetens, erfuerdert d'intern organesch Veraarbechtungsstruktur vu Keramik héich Präzisioun, an d'Kombinatioun vu Keramikschicht a Metallbasis muss den Ufuerderunge vun der Uniformitéit an der héijer Kraaft erfëllen. Dofir erfuerdert de strukturellen Design an d'Veraarbechtung vum elektrostatesche Chuck Fäegkeeten a Wëssen an der Präzisiounsbearbechtung. An d'Uewerflächbehandlung vum elektrostatesche Chuck fir ongeféier 0.01 Mikronbeschichtung z'erreechen, gläichzäiteg zu héijer Temperaturresistenz, Verschleißbeständegkeet, Liewensdauer ass méi wéi dräi Joer, dofir ass de Meeschter vun der Uewerflächenbehandlungstechnologie an der Uwendungsfuerderung relativ héich. Et kann gesi ginn datt d'Komposit- a Cross-Typ technesch Talenter d'Basisgarantie vun der Halbleiter-Deelindustrie sinn.

C. D'Fragmentatioun ass evident. Déi international féierend Entreprisen adoptéieren haaptsächlech Cross-Industrie Multi-Produktlinn Entwécklung a m&a Strategie.

Am Verglach mam Halbleiterausrüstungsmaart ass den Halbleiter Deeler Maart méi segmentéiert a fragmentéiert. De Maartraum fir en eenzegt Produkt ass kleng an den technesche Schwell ass héich, sou datt et e puer reng Halbleiterdeelerfirmen sinn. Déi international féierend Hallefleitkomponenten Entreprisen huelen normalerweis Kräiz-Industrie Multi-Produktlinn Entwécklungsstrategie, an Hallefleitkomponenten sinn dacks just ee vun de Geschäfter vun dëse grousse Komponenthersteller. MKS Instruments, zum Beispill, huet e grousse Maartundeel a Gasmanometer / Reaktoren, RF / DC Stroumversuergung, Vakuumprodukter a Roboterwaffen. Zousätzlech zu Hallefleitapplikatioune gëtt MKS Instrumenter wäit an der industrieller Fabrikatioun a Liewens- a Gesondheetswëssenschaften benotzt. Kontinuéierlech Fusiounen an Acquisitioune an Integratioun sinn och d'Haaptmëttel fir international féierend Halbleiterkomponentfirmen fir hir Skala auszebauen. Zum Beispill, Atlas (Atlas Copco, Schweden), eng international féierend Industrieausrüstungsfirma, huet seng Halbleiter Vakuumpompelgeschäft kontinuéierlech ausgebaut nodeems se den Edwards am Joer 2014 kaaft huet. Am 2016 huet Atlas Leybold Däitschland opkaf, e weidere Leader am Beräich vun der Vakuumtechnologie, an huet eng separat Vakuumtechnologiedepartement am Joer 2017 gegrënnt. D'Acquisitioun, déi d'Cryopump-Operatiounsfirma a Brooks '50% Aktie an Ulvac Cryogenics enthält, stäerkt d'global Kompetitivitéit vu sengem Vakuumgeschäft am Halbleitersektor weider.

03 Maart Gréisst an Entwécklung Muster vun semiconductor Komponente

(1) Skala a Muster vum weltwäiten Hallefleitkomponentmarkt

De weltwäite Hallefleeder Deelermaart besteet haaptsächlech aus zwee Deeler no verschiddene Serviceobjekter. Als éischt, Deeler a verbonne Servicer personaliséiert oder kaaft vu globalen Halbleiterausrüstungshersteller. Laut VLSI war den Ënnersystemmaart fir Hallefleitausrüstung bal 10 Milliarden Dollar am Verkaf am Joer 2020, mat Ënnerhalt- an Ënnerstëtzungsservicer fir 46%, Komponentproduktverkaaf fir 32%, an Ersatz an Upgrade fir 22%. Zweetens, Deeler a verbonne Servicer direkt vun globalen Hallefleithersteller als Verbrauchsmaterial oder Ersatzdeeler kaaft. No Xinmou Donnéeën [2], am Joer 2020, ass de Kafbetrag vu Frontlinn Ausrüstungskomponente fir 8-Zoll an 12-Zoll Wafer Linnen am Festland China iwwerschratt 1 Milliard Dollar. D'Fabrikatiounskapazitéit vu China mécht ongeféier 12-15% vun der Welt aus. Bedenkt datt d'Beschaffungsfuerderung fir héichwäerteg Zousatzkomponenten duerch fortgeschratt Technologie bruecht gëtt, ass de globale Betrag u Komponenten fir 8-Zoll an 12-Zoll Wafer Line Frontline Ausrüstung op d'mannst méi wéi $ 10 Milliarde. Dofir, wann déi zwee Deeler kombinéiert sinn, kann de weltwäite Hallefleeder Deeler Maart op $ 20 Milliarde bis $ 25 Milliarde oder méi geschat ginn.

Och wann d'Gesamtgréisst vum Halbleiterdeelermaart nëmme manner wéi 5% vun der globaler Hallefleitmaartgréisst vu bal 500 Milliarden Dollar ass, ass de Wäert vun Deeler normalerweis Dosende Mol säin eegene Präis, deen eng staark industriell Stralungskapazitéit an Afloss huet. Zousätzlech reflektéiert d'Schlësseltechnologie vun Halbleiterkomponenten den technologeschen Niveau vun der Industrie an der Halbleiterausrüstung vun engem Land, an huet eng ganz wichteg strategesch Positioun. Säin technologesche Fortschrëtt ass d'Viraussetzung fir technologesch Innovatioun an der downstream digitaler Wirtschaft an Informatiounsapplikatiounsindustrie.

Laut VLSI Daten [3], ZEISS (Optesch Lens), MKS Instrumenter (MFC, RF Energieversuergung, Vakuumprodukter), Edwards (Vakuumpompel), Advanced Energy (RF-Energieversuergung), Horiba (MFC), TVA (Vakuumventile), Ichor (modulare Gas Liwwerungssystemer an aner Komponenten), Ultra Clean Tech (Versiegelungssystemer), ASML (optesch Komponenten) an EBARA (Trock Pompelen).

Dësch 2-1. Ranking vun den Top 10 Semiconductor Komponent Hiersteller vun der Welt

(Datenquell: Joresbericht vun all Firma, Netzwierkinformatiounssammlung)

No de VLSI Daten an der Figur 2-1, tendéiert de Gesamtmaartdeel vun den Top Ten Liwweranten stabil bei ongeféier 50% an de leschten 10 Joer. Awer wéinst de strenge Ufuerderunge vun Halbleiterkomponenten fir Präzisioun a Qualitéit, a punkto eenzegen Hallefleitkomponenten, ass d'Welt nëmmen e puer Fournisseuren kënnen Produkter ubidden, et huet och gefouert datt d'Halbleiterkomponenten ronderëm d'Industrie Konzentratiounsverhältnis nëmmen 50% ass. , mee Kategorie Segment Konzentratioun oft iwwer 80% ze 90%, Monopol Effekt ass offensichtlech. Zum Beispill, am Feld vun elektrostatesche Sucker, ass et haaptsächlech vun amerikaneschen a japanesche Hallefleitfirmen dominéiert (kuckt Table 2-2), déi méi wéi 95% vum Maartundeel ausmaachen, haaptsächlech AMAT (Applied Materials), LAM (Panlin) Group), a Shinko (Nippon Electric), TOTO an NTK (japanesch Entreprisen).

Figur 2-1. De Maartundeel vun den Top 10 Semiconductor Komponent Hiersteller vun der Welt bleift stabil bei ongeféier 50% (Datenquell: VLSI)

Dësch 2-2. Lëscht vun de weltwäite Leader a grousse Komponentprodukter

(Datenquell: Jiangfeng Electronics, Reseau Informatioun Collation)

(2) Maart Skala a Muster vun Semiconductor Komponenten a China

Am Moment ass d'Chinese Halbleiter Deeler Industrie nach a senger Kandheet an d'Gesamt Skala ass kleng. No Xinmou Donnéeën [2], am Joer 2020, Chinesesch lokal wafer Hiersteller (haaptsächlech dorënner SMIC, Huahong Group, China Resources Microelectronics, Changjiang Storage, etc.) kaaft Deeler vun 8-Zoll an 12-Zoll Front-Kanal Ausrüstung zu engem Präis vu ronn 430 Milliounen Dollar. Awer d'Demande fir Hallefleitkomponenten gëtt erwaart staark ze bleiwen wéinst der séierer Expansioun vun der China's Haus Wafer Fabrikatiounskapazitéit, déi erwaart gëtt 50% vun der neier Kapazitéit bis 2023 ze addéieren. Et gëtt geschat datt d'Maartgréisst vun Halbleiterdeeler a China méi wéi 8 Milliarden Yuan am Joer 2023 an 12 Milliarde Yuan am Joer 2025 wäert iwwerschreiden, laut der Beschaffungsfuerderung vun Ausrüstung an Deeler an der Produktiounslinn.

Trotz dem schnelle Wuesstum vum Gewalt Halbleiter Deeler Maart, sinn d'technesch Kapazitéit, Prozessniveau, Produktgenauegkeet an Zouverlässegkeet vun Hausdeelerfirmen wäit vun de Bedierfnesser vun Hausausrüstung a Wafer Hiersteller gerecht, an de Gesamtlokaliséierungsquote ass nach ëmmer op engem nidderegen Niveau . Am Allgemengen, fir d'Benotzung vun personaliséiert Design Produktioun vun Präzisioun Maschinn Deeler, China d'Lokalisatioun Taux ass relativ héich. Well Gewalt Semiconductor Ausrüstung an der éischter Etapp, fir Masseproduktioun sou séier wéi méiglech z'erreechen fir den fortgeschrattem Niveau z'erreechen, benotzen dacks hiren eegene Design, an da loossen auslännesch (haaptsächlech Japan, eng kleng Zuel vu Südkorea) Prozessoren Veraarbechtung Modus. Wéinst semiconductor Ausrüstung Präzisioun machining Stécker vun Matière première, Veraarbechtung Methoden, Uewerfläch Behandlung an Botzen Verpakung speziell Ufuerderunge hunn, Gewalt Prozessor kann net erfëllen, Zousätzlech, well Japan Veraarbechtung Technologie Ubidder mat der Zorte vun Deeler Veraarbechtung huet eng räich Erfahrung, kann. fonnt ginn am Prozess vun machining puer Feeler am Design an ajustéieren. Méi spéit, mat der gradueller Expansioun vum Bannemaart, fir d'Käschten ze reduzéieren an d'Sécherheet vun der Versuergungskette ze garantéieren, hunn eng kleng Unzuel vun Haushalter Halbleiterausrüstungshersteller ugefaang Prozessoren an aner Industrien lues a lues ze kultivéieren, ugefaang sech op d'Präzisioun vun der Halbleiterausrüstung ze widmen. Dofir, am Beräich vun Präzisioun Maschinn Deeler, déi vun Ausrüstung Hiersteller dominéiert ass, hunn Gewalt Komponent Hiersteller séier Fortschrëtter gemaach. Awer fir déi méi standardiséiert, héich ofhängeg vum Maartkonkurrenz fir allgemeng kaaft Deeler, ass d'Lokalisatiounsquote allgemeng ganz niddereg. Den Haaptgrond ass datt d'Design- a Produktiounsufuerderunge vun dësen allgemenge kaaften Deeler ganz héich sinn. Och wann d'Prouf Deeler vun Gewalt Produiten kann de selwechten Niveau erreechen, se brauchen nach Efforten ze maachen d'Stabilitéit vun Mass Produktioun ze garantéieren. Zur selwechter Zäit, well Hausausrüstungsfirmen just Fortschrëtter an der Lokaliséierung gemaach hunn, sinn se nach ëmmer passiv bei der Beschaffung vun allgemengen Deeler, konzentréiere sech haaptsächlech op hausgemaachte reife Produkter, an net gewëllt, häerzlech nei fabrizéiert Produkter ze probéieren [1].

Dëst sinn d'Haaptgrënn firwat China nach ëmmer net "autonom a kontrolléierbar" an de Kärprodukter vun Halbleiterdeeler erreechen kann. No der Gewalt Mainstream OEM Donnéeën, erreecht déi alljährlechen alldeeglechen Operatioun vun de kritt Deeler (inklusiv Ënnerhalt Ersatz an Echec Ersatz Deeler) méi wéi 2,000, mä den Bannemaart Undeel ass nëmmen ongeféier 8%. D'USA a Japan haten 59.7 Prozent respektiv 26.7 Prozent. Tatsächlech ass den High-End Deeler Maart haaptsächlech vun amerikaneschen, japaneschen an europäesche Fournisseuren besat; De Low-End Parts Maart ass haaptsächlech besat vu Fournisseuren aus Südkorea a China's Taiwan. Den elektrostatesche Sucker ass e Schlëssel net verbrauchbaren Deel vun der Waferfabréck, an den Eenheetspräis ass sou héich wéi Zénger oder souguer Honnerte vun Dausende vun DOLLAR. Am Moment kann keng Hausfirma relevant reife Produkter maachen, och d'Aluminiumnitrid Keramik Rohmaterialien, déi fir den elektrostatesche Sauger benotzt ginn, si wäit vun den erfuerderlechen techneschen Indikatoren, an déi extern Ofhängegkeet ass méi wéi 99%. Zousätzlech, obwuel d'Skala vun der Vakuumpompelindustrie a China bal 200 Milliarden Yuan erreecht huet, musse High-End Produkter vun Edwards an aner Entreprisen nach ëmmer importéiert ginn fir dréchen Vakuumpompelen fir Halbleiteren. Wéi och ëmmer, an de leschte Joeren, mat der Beschleunigung vun der neier Kapazitéit an der Expansioun vun der Gewalt Halbleiterindustrie, an der kontinuéierlecher Verspéidung vun der Liwwerung vun auslänneschen Deeler wéinst der Behënnerung vu Logistik- an Transportservicer verursaacht duerch d'COVID-19 Pandemie, hunn e puer Inland Halbleiterdeeler Firmen mat héije Wuesstumspotenzial hunn d'Méiglechkeet den Ersatz vun Haushalter Halbleiterdeeler ze beschleunegen. Zum Beispill, The ShowerHead a Kavitéitveraarbechtungsgeschäft vu JIANGfeng Electronics, dem Filtergeschäft vu Cobetter, an dem Trockenvakuumpompelgeschäft vun Tongjia Hongrui. Table 2-3 resüméiert e puer chinesesch Entreprisen a verschiddene Beräicher vun Hallefleitkomponenten.

Dësch 2-3. Main Haushalter Semiconductor Komponent Firmen

(Datequelle: Network Information Collation)

04 D'Haaptprobleemer vun der Lokalisatioun vun Halbleiterdeeler

(1) Mangel un Opmierksamkeet op Deeler a Komponenten, industriell Ënnerstëtzungspolitik aus der Plaz

D'total Skala vun der Halbleiter Deeler Industrie ass an de Milliarden. Am Verglach mat der Kernindustrieller Kette vun Halbleiteren ass de Volume méi kleng, d'Produktvarianten an d'Spezifikatioune si verschidde, déi féierend Entreprisen si wéineg, d'industriell Konzentratioun ass niddereg, an déi existent technesch Probleemer sinn verspreet, sou datt et net genuch Opmierksamkeet bezuelt gouf. fir eng laang Zäit. Zanter 2014 an eisem Land wäert d'Entwécklung vun semiconductor Industrie förderen opgestan national Strategie, dann op d'mannst méi wéi 30 lokal Regierung agefouert eng Politik Ënnerstëtzung der Entwécklung vun semiconductor Industrie ze förderen [9], mä souwuel national a lokal Niveau, der Politik konzentréieren méi iwwer den Design, Fabrikatioun, Testen, Ausrüstung, Material, Halbleiter Deeler Industrie selten ofgedeckt. Wat d'Kapital ugeet, ginn Deeler a Komponentenfirmen selten vum Kapital favoriséiert. Den nationalen IC Industry Investment Fund investéiert de Moment manner wéi 100 Milliounen Yuan an Hallefleit Deeler. Bis Enn 2020 ass de Gesamtmaartwäert vun opgezielte Firmen haaptsächlech an Halbleiterdeeler engagéiert (manner wéi 30 Milliarden Yuan) nëmmen 1% vum Gesamtmaartwäert vun all Halbleiterindustrie Kettenfirmen (méi wéi 3 Billioun Yuan).

(2) Relativ réckgängeg Innovatiounsfäegkeet an offensichtlech Spalt an der Kerntechnologie

Well Deeler Industrie fir eng laang Zäit net Opmierksamkeet kritt huet, kann nëmmen vulgär Wuesstem, sou datt déi meescht vun den Gewalt Deeler Entreprisen an der semiconductor Industrie ass haaptsächlech Reparatur an Ersatz Servicer ze bidden, Botzen Servicer gëtt Prioritéit ginn, déi allgemeng R&D, Innovatioun Fähegkeet ass relativ zréck, laang bleiwen um Niveau vun niddereg-Enn Produktioun Standard an Kopie auslännesch Produiten, de Kär Technologie Spalt ass offensichtlech. Geméiss dem Prospekt vun enger opgezielter Halbleiterdeelerfirma a China sinn et nëmmen 15 R&D Personal, an déi total R&D Investitioun vun 2016 bis 2018 ass manner wéi 20 Millioune Yuan, an déi duerchschnëttlech jährlech R&D Investitiounsintensitéit ass manner wéi 5%. Zousätzlech ass de Mangel un Innovatiounsfäegkeet vun der China Halbleiter-Deelindustrie och am onvollstännegen Industriestandardsystem reflektéiert, de schlëmmen Mangel un Investitiounen an der Basisprozessfuerschung, de Mangel u Zougang zu Prozesstechnologie, de Mangel u enker Kombinatioun vu wëssenschaftlecher Fuerschung an Produktioun Praxis a vill aner Problemer. Et beschränkt déi innovativ Entwécklung vu strukturellen Designtechnologie, Zouverlässegkeetstechnologie, Fabrikatiounstechnologie a Prozesser, a Basismaterialleistungsfuerschung vun Halbleiterkomponenten.

Table 2-4 Haapthaus Semiconductor Komponente technesch Schwieregkeeten

(Datequelle: SMIC [4], Jiangfeng Electronics [6], Netzwierkinformatiounsveraarbechtung)

(3) Net genuch Versuergung vun Handwierker a Mangel un effektiven Ureizmechanismus

Am Moment huet d'Talent Spalt an der China Halbleiterindustrie Honnerte vun Dausende vu Leit erreecht. Och wann China eng Serie vun Ënnerstëtzungsmoossnamen am Halbleiter Talent Training an de leschte Joeren agefouert huet, konzentréiert eng grouss Zuel vu Semiconductor Talent Training haaptsächlech op Design, Fabrikatioun, Ausrüstung a Materialien, an et gëtt nach ëmmer e Manktem un Opmierksamkeet fir d'Talent Training an Halbleiter Deeler an aner Basisindustrie. An de Grondfäegkeete vun der Reform vum Bildungssystem, berufflech Astellungen, on-the-job Akkreditatioun vun Ingenieursausbildung, Technologie, etc de Mangel u Gesamtplanung an Duerchféierung, Deeler a Komponenten zu engem schlëmmen Mangel u professionnelle Basis- a Beruffskompetenzen Curriculum, awer och de Mangel u Verfeinerung ze plädéieren, Wourecht sichen, Innovatioun, gutt am Design, gutt am entscheedende Handwierker spirituellen Guide [5]. Zousätzlech ass d'Halbleiter Deeler Industrie konfrontéiert mat engem eeschten Talent Ureiz Mechanismus ass net op der Plaz. Och wann de Gesamtgehalt vum Haushalter Halbleiterindustrie Personal wesentlech verbessert gouf am Verglach mat der viregter, awer fir d'mechanesch Veraarbechtung, Präzisiounsinstrumenter, Uewerflächenbehandlung an aner Industrien, déi vun Deeler a Komponentenfirmen erfuerderlech sinn, ass d'Pai vun de Mataarbechter allgemeng däitlech méi niddereg wéi d'Gehalt vun de Mataarbechter. Duerchschnëtt Niveau vun der semiconductor Industrie. Geméiss dem Prospekt vun enger Halbleiterdeelerfirma a China, hat et nëmmen 15 R&D Personal ier se ëffentlech gaangen ass, an d'Jorespai vum Kär technesche Personal war nëmmen 75,000 Yuan an dat vum gewéinleche R&D Personal nëmmen 30,000 Yuan. De nidderegen Gehaltsniveau féiert zu e seriöse Brain Drain vun Halbleiterdeelerfirmen, wat zu engem Béiserkrees vu Mangel un Nofolger an der Basisdeelindustrie resultéiert.

(4) Disjointed Links vun der industrieller Kette an net genuch Upstream Support Kapazitéit

Semiconductor Komponente mussen rigoréis a komplex Verifizéierungsprozeduren duerchgoen ier se duerch grouss Produktiounslinne verifizéiert kënne ginn an op enger grousser Skala verkaaft ginn. Dofir musse Komponent Hiersteller voll mat Downstream Ausrüstung an Hiersteller kooperéieren. Am Moment ass d'Online Verifizéierungsprozedur vun Halbleiterdeeler a China komplizéiert an de Prozess ass laang. De Koordinatiounsgrad tëscht Hiersteller, Ausrüstungshersteller an Haushalter Halbleiterdeeler Hiersteller ass net héich, an et feelt un effektiv Kommunikatioun an Interaktioun. Als Resultat beherrschen béid Parteien net all aner Prozessparameter a passend Fäegkeet, an d'Haus Ersatzkraaft ass net genuch. Zousätzlech, am Prozess vun laangfristeg Produit Iteration, bestehend auslännesch Komponent Hiersteller hunn eng grouss Zuel vun Know-How geformt. Wéi och ëmmer, am spéideren Imitatiouns- a Proufproduktiounsprozess kënnen Haushersteller nëmmen ähnlech Erscheinung erreechen. Wéinst dem Mangel un Erfahrung a Schlësseltechnologien gi se an der initialer Verifizéierung eliminéiert a kënnen net an enger grousser Applikatioun kommen [5]. Zousätzlech kënnen d'Hersteller vun der Haushalbleiterkomponent net Ënnerstëtzung vu Matière première a Produktiounsausrüstung an aner ënnerstëtzende Linken kréien, wat och d'Kompetitivitéit vun hire Produkter beaflosst. Semiconductor Deeler si meeschtens eng Vielfalt vu Produkter mat héijer Veraarbechtungsgenauegkeet Ufuerderunge, déi héich Matière première a Veraarbechtungsausrüstung fir d'Produktioun vun dësen Deeler erfuerderen an deier sinn. Wéinst dem Afloss vun der laang-geformt Iddi vun "schwéier Mainframe, Liichtjoer Ënnerstëtzung", China d'Industrie huet eescht net genuch Investitiounen an der upstream an downstream ënnerstëtzen Felder vun Deeler, déi zu der Spalt tëscht China an auslännesch Länner an der Matière première a Produktioun Féierung Ausrüstung vun Deeler. Zum Beispill, lags der héich Präzisioun machining Zentrum allgemeng an semiconductor Metal Deeler a China benotzt hannert auslännesch Länner an machining Richtegkeet, machining Stabilitéit, geometreschen Flexibilitéit an aner Aspekter. Zum Beispill, Al durchgang, Wolfram a Molybdän, souwéi héich Rengheet Quarz Sand, d'Matière première fir héich-Enn Metal Deeler Fabrikatioun, sinn am Fong monopoliséiert vun amerikanesch a japanesch Firmen. Déi monopolistesch Versuergung vu Matière première mécht downstream Material Fournisseuren / Prozessoren / Benotzer limitéiert op passiv. D'Haaptquartzglasmaterial (Röhre / Staang / Verankerung) ass och aus den USA, Däitschland, Japan Firmen. Fir eng laang Zäit huet de Mangel u Upstream Veraarbechtungsausrüstung a Matière première zu der Operatioun vun de meeschte Halbleiterdeelerfirmen a China op engem nidderegen techneschen Niveau gefouert. Den Niveau vu Matière première a Prozessausrüstung ass net héich, a fortgeschratt Ausrüstung feelt an net passend, wat d'Konsistenz vun der Produktqualitéit net garantéieren kann an d'Verbesserung vun der Produktqualitéit beaflosst.

(5) Limitéiert Fabrikatiounsbedéngungen beaflossen High-End Upgrade

Wéi de Halbleiter Fabrikatiounsprozess dacks an enger héijer Temperatur ass, staark korrosivt Ëmfeld, sou datt ongeféier d'Halschent vun den Halbleiterdeeler Uewerflächebehandlung musse maachen fir hir Korrosiounsbeständegkeet ze verbesseren. Zum Beispill ass d'Plasma Ätzkammer vun Halbleiter Ätsausrüstung an enger héijer Dicht, héijer Korrosioun an héijer Aktivitéit Plasma Ëmfeld. D'Kammer a seng Komponente si liicht vu Plasma korrodéiert. Fir d'Liewensdauer vun dëse Komponenten ze verlängeren, gëtt anodesch Oxidatioun dacks op der Uewerfläch vun Aluminiumbasismaterialien (Aluminium an Aluminiumlegierung) benotzt. De Plasma kann effektiv d'Korrosioun vun der Kavitéit an aner Aluminiumbasismaterialien reduzéieren. A China ëmmer méi streng Ëmweltviraussetzungen, fir d'Majoritéit vun der Uewerflächenbehandlungstechnologie wéi Sandstrahlen, Sprayen, Elektroplatéieren, Anodeoxidatioun an sou weider kontrolléiert Entwécklung, wat zu e puer High-End Uewerflächebehandlungstechnologie resultéiert, zum Beispill Mikro-Arc Oxidatioun, High-End. Enn sprutzen, Y2O3 Keramik coatings, etc., Gewalt Spalt méi grouss all der Zäit, och direkt Afloss op d'Performance vun Deeler an Qualitéit vun Produiten, Och wann Chinese Hiersteller Valve Deeler Form kann, Showerhead Gas sprutzen Kapp, Keramik Deeler an aner Deeler no den Zeechnungen. , hir Entwécklung gëtt vun der Fondatioun beschränkt, well se d'Problemer vu Materialien an Uewerflächenbehandlung net léisen. Zousätzlech sinn e puer modernste Technologien vun Hallefleitkomponenten duerch den "Embargo" limitéiert, an Hausfirmen feelen Zeechnungen a Präzisiounsdaten, wat verhënnert datt se sech op High-End Technologien entwéckelen. Zum Beispill, niddereg-Volt Vakuum Jauge produzéiert vun MKS huet ëmmer fir Export Lizenz ze kafen missen gëlle [6].

05 Virschléi iwwer d'Entwécklung vun der Halbleiterdeeler Industrie a China

(1) Befestegt Wichtegkeet un Top-Niveau Design a guidéiert industriell Entwécklung

De Secteur vun Halbleiterdeeler, dee laang staark op fortgeschratt Länner wéi d'USA a Japan vertraut huet, muss méi Opmierksamkeet op Top-Niveau Design bezuelen. Suggestioun vun engem spezielle semiconductor Komponente Industrie Entwécklungsplang, de Plang oder Fahrplang, bestëmmen de laangfristeg strategesche Kader vun Industrie Entwécklung, a verschiddene Perioden no der Entwécklung Situatioun doheem an am Ausland déi entspriechend Politiken a Programmer opzestellen fir Uerdnung Guide Industrie Entwécklung, verursaacht och déi ganz Gesellschaft besonnesch d'Marketiséierung vum Kapital vun Halbleiter Komponenten Industrie Opmierksamkeet.

(2) Setzt speziell industriell Projeten op fir Innovatioun ze stimuléieren

Fir déi séier Entwécklung a Wuelstand vun der Halbleiter-Deelindustrie ze realiséieren, ass déi fundamentalst d'Fäegkeet vun onofhängeger Innovatioun ze verbesseren. Am Moment, China d'halbleiter Deeler Industrie kann net eng ëmfaassend Garantie vun semiconductor Versuergungskette erreechen nëmmen duerch Imitatioun an Tracking Technologie, nëmmen duerch onofhängeg Innovatioun. Obwuel e puer Deeler Betriber an speziell ënnerstëtzt goufen 02 [7], weider Efforten soll gemaach ginn. Recommandéiert an der nationaler Wëssenschaft an Technologie plangen getrennt eng speziell semiconductor Deeler Industrie etabléiert, gemeinsame Gewalt semiconductor Komponente Virwaat Entreprisen, d'Deeler vun der national Instituter vun Technologie Innovatioun Plattform oder virbereeden ze bauen, sammelen Stäerkten gezielt Duerchbroch Punkt an Haaptrei Richtung, halen un onofhängeg Innovatioun Fuerschung an Entwécklung, striewen eng Partie vun Schlëssel Kär Technologie industriell Basis ze iwwerwanne, Mir wäerten eng technologesch Innovatioun System etabléieren an deem Betriber d'Haaptroll spillen an d'Entreprisen, Universitéiten, Fuerschung Instituter an Uwendungen kombinéiert ginn, a Guide der Fuerschung an Entwécklung vun opzedeelen-Wäitschoss Technologien, Basis Technologien a Schlëssel generesch Technologien am Beräich vun semiconductor Komponente um nationale Niveau.

(3) Politesch Lücken ausmaachen an Investitiounsleitung verstäerken

Semiconductor Deeler Industrie ass eng Industrie mat voll Maart Konkurrenz. Wéinst der kleng Skala, grouss Quantitéit an dënn Produit Gewënn vun Gewalt Deeler Entreprisen, d'R & D Investitioun vun neie Produiten an Technologien kann net mat deem vun international grouss Entreprisen Verglach ginn, sou ass et schwéier duerch Maart Konkurrenz eleng ze gewannen. Wéi och ëmmer, ënner dem aktuellen internationale geopoliteschen Hannergrond, ass et noutwendeg fir d'Regierung relevant speziell Politiken ëmzesetzen fir ze guidéieren an z'ënnerstëtzen, an Haushalter Halbleiterdeeler Entreprisen ze hëllefen séier ze wuessen. Et gëtt virgeschloen datt grouss Produkter onofhängeg vun Haushalter Halbleiterdeeler Entreprisen subventionéiert an ënnerstëtzt ginn vun nationalen a lokale Finanzen, den intellektuellen Eegentumsrechter Schutz vun onofhängeg entworfene Produkter solle verstäerkt ginn, an d'Halbleiterdeeler solle fir d'éischt am Akafskatalog vun der Regierung opgeholl ginn. setzen. Encouragéiert all Zorte vun Gewalt Industrie Fongen a sozial Kapital aktiv an semiconductor Deeler Betriber ze investéieren, an hëllefen der Entwécklung vun Gewalt semiconductor Deeler Betriber duerch de Kapitalmaart.

4) Erhéijung Talent Aféierung an Training an stäerken Talent Fourniture

Verstäerkt d'Kultivatioun an d'Aféierung vun Ingenieurs-, Fuerschungs- a Verbindungstalenter an Halbleiterdeeler verbonne Felder ëmfaassend [8]. Grouss Fuerschungsinstituter ginn encouragéiert fir postgraduate Ausbildung a postdoctoral Aarbechtsstatiounen am Beräich vun Halbleiterdeeler a Komponenten z'etabléieren, a vertrauen op grouss national Ingenieursprojeten a grouss Wëssenschaft an Technologieprojeten fir féierend Talenter an Halbleiterdeeler a Komponententechnik an Technologie ze trainéieren. Mir plädéieren Entreprisen, Schoulen a wëssenschaftlech Fuerschungsinstituter fir gemeinsam berufflech Ausbildung an on-the-job Training auszeféieren, aktiv de Modus vun der Schoul-Entreprise Kooperatioun ze förderen fir zesummen qualifizéiert Personal ze kultivéieren, duerch Schoul-Entreprise Uerdnungsausbildung, zentraliséiert Training, Direktiounsausbildung oder uvertraut Formatioun, eng grouss Zuel vu qualifizéiert Personal vun semiconductor Deeler, stäerken Talent Fourniture. Mir wäerten aktiv iwwerséiesch Ingenieurstechnologie Leader an Talenter a Kuerzversuergung duerch verschidde Mëttelen aféieren, lokal Regierungen encouragéieren Talentpolitik fir Kärtechnologie-Réckgrat an féierend Entrepreneuren am Beräich vun Halbleiterkomponenten aféieren, dauernd den Talent Ureizmechanismus verbesseren an d'Vitalitéit vun industriell Entwécklung.

(5) Fördert d'Verbindung vun Deeler an assuréieren onofhängeg Versuergung

Promotioun vun semiconductor baséiert Versuergung Kette Deel "Verknëppung" a komplett ëmgedréint trennen Deeler Produiten an Ausrüstung, Fabrikatioun, duerch d'Regierung Leedung, encouragéieren Gewalt Fabréck an Ausrüstung Fabréck fir d'Roll vun der grousser Produktioun Linn Organisatioun a Koordinatioun ze spillen, kollaborativ lokal Deeler Décideuren duerch JieBang 1, Päerdsrennen, Direktiounsfuerschung op verschidde Weeër, wéi zB d'Kooperatioun vun der Industriekette stäerken, Realiséiere vun der koordinéierter Entwécklung vu Mainframe a Basisdeeler. Ënnerstëtzt semiconductor Fabrikatioun oder Equipement Engineering Projeten gefouert vun national oder lokal Regierunge, ginn Prioritéit fir Gewalt semiconductor Deeler Produit Verifikatioun Méiglechkeeten, a ginn bestëmmte Risiko Subventiounen. Encouragéiert Maschinnen, Elektronik, chemesch an aner Ausrüstungsdeeler Hiersteller fir d'Halbleitergeschäft aktiv auszebauen an auszebauen, baséiert op hirer eegener technescher Basis, High-End Produkter entwéckelen fir d'Bedierfnesser vun Halbleiterausrüstung z'erreechen, d'Produktlayout weider ze konsolidéieren an ze verbesseren, an onofhängeg ze verbesseren. Versuergung vun Gewalt Deeler.

Verzichterklärung: Dësen Artikel gëtt aus "Zhu Jing" nei gedréckt, dësen Artikel stellt nëmmen d'perséinlech Meenung vum Auteur duer, representéiert net d'Meenungen vu Sakwei an der Industrie, nëmmen fir ze drécken an ze deelen, de Schutz vun den intellektuellen Eegentumsrechter z'ënnerstëtzen, gitt w.e.g. d'Original un. Quell an Auteur, wann et Verletzung, weg Kontakt eis ze läschen.