Haufinyane tjena, sehlopha sa lipatlisiso se etelletsoeng pele ke Moprofesa Xu Huaping oa Lefapha la Khemistri Univesithing ea Tsinghua se ile sa etsa tsoelo-pele e kholo linthong tse feteletseng tsa ultraviolet (EUV) tsa photoresist. Ba thehile "photoresist" e ncha e thehiloeng ho polytelluoxane (PTeO), e fanang ka leano le lecha la moralo bakeng sa lisebelisoa tsa bohlokoa tlhahisong e tsoetseng pele ea semiconductor.

Ha lits'ebetso tse kopaneng tsa potoloho li ntse li tsoela pele ho ea sebakeng sa 7nm le ho feta, 13.5 nm wavelength EUV lithography e fetohile theknoloji ea mantlha e nolofalletsang tlhahiso e tsoetseng pele ea li-chip. Leha ho le joalo, litšobotsi tsa mehloli ea leseli la EUV joalo ka tahlehelo e phahameng ea khanya le khanya e tlase li baka mathata a maholo ho batho ba etsang lifoto mabapi le ho monya hantle, mekhoa ea karabelo le taolo ea bofokoli. Baetsi ba lifoto tsa EUV hangata ba itšetleha ka mekhoa ea ho holisa lik'hemik'hale kapa lihlopha tse matlafatsoang ke tšepe ho matlafatsa kutlo, empa khafetsa ba tobana le litaba tse kang meaho e rarahaneng, kabo ea likarolo tse sa leka-lekaneng, karabelo e bonolo, le ho hlahisoa ha bofokoli ba stochastic. Ho phunyeletsa litšitiso tsena ho aha sistimi e nepahetseng ea photoresist ke phephetso ea mantlha lefapheng la hajoale la lisebelisoa tsa lithography tsa EUV. Sechaba sa barutehi se lumellana ka bophara hore setsebi sa lifoto sa EUV se loketseng ka nako e le 'ngoe se lokela ho ba le lintlha tse 'nè tsa bohlokoa tse latelang: 1) Bokhoni bo phahameng ba ho monya EUV ho fokotsa lethal dose ea ho pepeseha le ho ntlafatsa kutlo; 2) Ts'ebeliso e phahameng ea matla a matla, ho netefatsa hore matla a khanya a fetoloa hantle hore e be liphetoho tsa ho qhibiliha ha thepa ea photoresist ka har'a molumo o monyane; 3) Ho tšoana ha limolek'hule ho qoba lerata le nang le sekoli le bakoang ke ho aroloa ha likarolo le ho hasana ka tšohanyetso; 4) Likarolo tse nyane tsa moaho ho felisa tšusumetso ea boholo ba karolo ea mantlha mabapi le tharollo le ho fokotsa bokhabane ba moeli (LER). Ka nako e telele, lisebelisoa tse fokolang tsa lisebelisoa li ka finyella litekanyetso tsohle tse 'nè.

Sehlopha sa lipatlisiso sa Moprofesa Xu Huaping se thehile "EUV photoresist" e ncha e ipapisitseng le boqapi ba bona ba pejana ba polytelluoxane, e khotsofatsang maemo a setsebi sa lifoto se boletsoeng ka holimo. Phuputsong ena, sehlopha se kenyelelitse ka ho toba tellurium (Te), ntho e phahameng ea EUV-absorption, ka har'a mokokotlo oa polymer ka li-bond tsa Te─O. Tellurium e na le karolo e phahameng ka ho fetesisa ea EUV har'a likarolo tsohle ntle le likhase tse inert xenon (Xe), radon (Rn), le element radioactive astatine (At). Bokhoni ba eona ba ho monya ba EUV bo feta hole ba lintho tsa nako e khuts'oane tse sebelisoang hangata ho batho ba etsang lifoto le lisebelisoa tsa tšepe tse kang Zn, Zr, Hf, le Sn, tse matlafatsang haholo katleho ea EUV ea ho monya lifoto. Ka nako e ts'oanang, matla a batlang a le tlase a ho arohana a bonto ea Te─O e lumella ho hokahanngoa ha ketane e tobileng holim'a ho kenngoa ha EUV, ho susumetsa liphetoho tsa ho qhibiliha le ho etsa hore ho be le kutloisiso e phahameng ea molumo o motle. Photoresist ena e entsoe feela ho tsoa ho limolek'hule tse nyane tsa karolo e le 'ngoe, e kopanyang litšobotsi tsa sets'oants'o se setle ka moralo o bonolo haholo, e fana ka tsela e hlakileng le e ka khonehang ea ho aha li-photoresist tsa EUV tsa moloko o latelang.

Polytelluoxane: Thepa e ntle ea EUV Photoresist

Patlisiso ena e fana ka mokhoa oa moralo oa photoresist o kopanyang karolo e phahameng ea ho monya Te, mochini o ka sehloohong oa scission, le ho tšoana ha lintho. E lebelletsoe ho khothaletsa nts'etsopele ea lisebelisoa tsa lithography tsa EUV tsa moloko o latelang le ho thusa ntlafatsong ea mahlale a lits'ebetso tse tsoetseng pele tsa semiconductor.

Katleho e amanang le eona e phatlalalitsoe ho Tsoelo-pele ea Saense ka la 16 Phupu tlas'a sehlooho "Polytelluoxane e le mokhoa o nepahetseng bakeng sa EUV photoresist".

About SLKOR:

SLKOR, e nang le ntlo-khōlō e Shenzhen, Chaena, ke khoebo ea naha e tsoetseng pele ea theknoloji e phahameng lefapheng la semiconductor ea matla. Ka litsi tsa R&D tse Beijing le Suzhou, sehlopha sa eona sa mantlha sa tekheniki se tsoa Univesithing ea Tsinghua. Joaloka moqapi oa theknoloji ea sesebelisoa sa matla sa silicon carbide (SiC), SLKORLihlahisoa tsa 'ona li sebelisoa haholo likoloing tse ncha tsa matla, tlhahiso ea matla a photovoltaic, IoT ea indasteri, le lisebelisoa tsa elektroniki tsa bareki, li fana ka tharollo ea bohlokoa ea semiconductor ho bareki ba fetang 10,000 lefatšeng ka bophara.

Khamphani e fana ka li-unit tse fetang limilione tse likete tse 2 selemo le selemo, ka li-SiC MOSFET tsa eona le 5th-generation ultrafast recovery SBD diodes e beha litekanyetso tsa indasteri ka tekanyo ea katleho le botsitso ba mocheso. SLKOR e na le litokelo tsa boqapi tse fetang 100 mme e fana ka mefuta ea lihlahisoa tsa 2,000+, e tsoela pele ho atolosa IP portfolio ea eona ho lisebelisoa tsa motlakase, li-sensor, le li-IC tsa taolo ea matla. Lisetifikeiti tse kenyelletsang ISO 9001, EU RoHS/REACH, le CP65 li bonts'a boitlamo bo tiileng ba k'hamphani ho boqapi ba mahlale, tlhahiso e fokolang, le nts'etsopele ea moshoelella.