Горячая линия
Силовые полупроводники открывают эру SiC (Часть вторая)
IDM (Производитель интегрированных устройств), Foundry, Fabless
Ключевые игроки в производстве микросхем включают Wolfspeed, STMicroelectronics, ON Semiconductor, ROHM, Infineon и Bosch. Самый крупный источник затрат на эти устройства, пластины из карбида кремния (SiC), производятся с диаметра 150 мм на 200 мм, но процессы выращивания, нарезки и подготовки по-прежнему зависят от дорогостоящих и трудоемких ручных операций.
Все стороны, особенно IDM и производители пластин, стремятся снизить процент дефектов кристаллов SiC, разрабатывая специальные инструментальные платформы для SiC, такие как высокотемпературная ионная имплантация, печи эпитаксиального осаждения, работающие при температурах выше 1,500 ° C, и улучшенные суспензии CMP. , полировальные подушечки и чистящие средства для обработки материалов, твердость которых почти равна алмазу.
Поскольку силовые схемы на основе кремния, SiC и GaN конкурируют в диапазоне батарей 400 В, технологический переход завершен. Однако системы питания SiC могут обеспечить гораздо более высокие уровни мощности по сравнению с GaN (см. Рисунок 3).
«Я называю это полем битвы при 650 В, потому что на самом деле все три технологии конкурентоспособны в этом диапазоне», — говорит Велиадис из PowerAmerica, присутствовавший на форуме «Соединение автомобильной экосистемы с производством SiC», проходившем в SEMICON West. Хотя GaN имеет более высокую подвижность электронов, чем SiC, его зрелость ниже и не может соответствовать высоким уровням мощности SiC. Однако GaN по-прежнему пользуется значительной популярностью при производстве высокочастотных устройств. Кроме того, большие перспективы показывают некоторые методы GaN на основе кремния, используемые в настоящее время такими компаниями, как Intel и imec.
Модули из карбида кремния (SiC) считаются решающими для повышения эффективности систем трансмиссии электромобилей. Значительный переход от устройств на основе кремния к устройствам из карбида кремния будет в значительной степени способствовать увеличению удельной мощности в энергосистемах при одновременном уменьшении размера, веса и, что наиболее важно, стоимости электромобилей. Это связано с тем, что, хотя силовые полупроводники на основе кремния все еще оптимизируются, они достигли своих эксплуатационных пределов с точки зрения потерь проводимости и переключения. Карбид кремния с его более широкой запрещенной зоной (3.26 эВ по сравнению с 1.12 эВ у кремния) может снизить такие потери и обеспечить превосходные высокотемпературные и высокочастотные характеристики.
Многие производители SiC-чипов уже преобразовали свои 150-миллиметровые линии по производству кремния в производство SiC. Велиадис заявил: «До сих пор весьма успешным подходом была обработка карбида кремния на зрелых, полностью изношенных кремниевых заводах с капиталовложениями в размере около 30 миллионов долларов, что приносило огромную прибыль». Стоимость особенно важна для модулей питания. «Используя карбид кремния, вы заплатите примерно в три раза больше стоимости полупроводниковых чипов, но общая стоимость системы в конечном итоге окажется ниже, чем у кремниевых силовых модулей, что противоречит интуиции. Но ответ прост. Способность работать эффективно. на высоких частотах значительно уменьшает объем магнитных и пассивных компонентов, компенсируя более высокую стоимость производства чипов».
Однако в этой отрасли не осталось старых заводов, которые могли бы позволить себе реконструкцию стоимостью 30 миллионов долларов. Быстро строятся новые заводы по производству пластин карбида кремния. Тем временем компании, не производящие пластины, конкурируют за мощности.
«У нас есть два взаимно конкурирующих рынка — автомобильный рынок и рынок возобновляемых источников энергии, оба из которых нуждаются в мощностях», — сказал Ральф Борнефельд, старший вице-президент Bosch Power Semiconductors and Modules. «Из пандемии COVID-19 мы узнали, что конкурирующий рынок может закрыть другой рынок, поэтому нам необходимо принять это во внимание». В настоящее время компания Bosch производит модули SiC MOSFET третьего поколения с напряжением пробоя 1,200 В.
Устройства SiC особенно подходят для автомобилей, поскольку они могут работать при более высоких температурах в суровых условиях, обеспечивая высокую удельную мощность. Силовые устройства SiC обеспечивают чрезвычайно низкие коммутационные потери и сверхнизкое сопротивление RDson (сопротивление между истоком и стоком во время работы). Меньший размер RDson коррелирует с меньшими потерями мощности в МОП-транзисторах.
Возможности устройства начинаются с материалов SiC. «Качество кристалла было ключевым фактором, на который обращали внимание все игроки в течение последних 20 лет, но в кристалле все еще существуют дислокации базисной плоскости, дефекты упаковки и т. д., которые необходимо проектировать для изготовления 20, 30 и т. д. Устройства площадью 40 квадратных миллиметров», — сказал Кристоф Малевилл, старший вице-президент SOITEC Innovation. «Когда четыре года назад мы вошли в область карбида кремния, мы впервые заметили, что существуют различия от одного слитка к другому и от одной пластины к другой, что инженерам обычно приходится корректировать и проверять эпитаксию. Итак, ее внедрение в производство еще не худой».
С точки зрения электрических аспектов силовые устройства могут быть чувствительны к паразитным индуктивностям, искрению и другим проблемам. В отличие от аналоговых заводов смешанных сигналов, где сжатие отсутствует, основное внимание уделяется параметрам, и энергетикам приходится иметь дело с вариациями.
«В прошлом (аналог) не хватало термоусадки. Но сейчас у них есть зрелые процессы устранения дефектов», — сказал Дитер Ратей, генеральный директор DR Yield. «Поскольку сложные полупроводники, такие как карбид кремния, нитрид галлия и арсенид галлия, становятся все более распространенными и растут быстрее, проблемы параметрического выхода улучшатся».




粤公网安备44030002007346号